[發(fā)明專利]經(jīng)涂覆的柔性組件

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201680069437.8
• 申請(qǐng)日: 2016-10-24
• 公開（公告）號(hào): CN108292667B
• 公開（公告）日: 2022-06-14
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 哈拉爾德·考斯滕鮑爾
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 普蘭西股份有限公司
• 主分類號(hào): H01L27/32
• 分類號(hào): H01L27/32
• 代理公司: 北京市萬慧達(dá)律師事務(wù)所 11111
• 代理人: 谷雪霓;段曉玲

1.經(jīng)涂覆的柔性組件(1)，其包括

-柔性基板(2)，

-至少一層基于難熔金屬的金屬涂層(3)，該涂層是

MoRe涂層，

基于Mo的MoXRe涂層，其中X＝Nb,Ta,Ti,W,

WRe涂層，或

基于W的WXRe涂層，其中X＝Nb,Ta,Ti,Mo，

其特征在于基于難熔金屬的涂層(3)包含大于6原子％且小于50原子％的Re。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的經(jīng)涂覆的柔性組件(1)，其中基于難熔金屬的涂層(3)包含大于6原子％且小于35原子％的Re。

3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的經(jīng)涂覆的柔性組件(1)，其中基于難熔金屬的涂層(3)的厚度小于1μm。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的經(jīng)涂覆的柔性組件(1)，其中基于難熔金屬的涂層(3)的厚度為5至300nm。

5.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的經(jīng)涂覆的柔性組件(1)，其中柔性基板(2)為透明的。

6.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的經(jīng)涂覆的柔性組件(1)，其中柔性基板(2)包含至少一種選自聚合物、薄玻璃、金屬箔、無機(jī)材料的材料。

7.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的經(jīng)涂覆的柔性組件(1)，其中，基于難熔金屬的涂層(3)在彈性應(yīng)變?chǔ)艦?％時(shí)的電阻R與在開始測量時(shí)的電阻R₀的比例R/R₀小于1.2。

8.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的經(jīng)涂覆的柔性組件(1)，其中經(jīng)涂覆的柔性組件(1)具有至少一個(gè)導(dǎo)體軌道結(jié)構(gòu)(4)。

9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的經(jīng)涂覆的柔性組件(1)，其中至少一個(gè)導(dǎo)體軌道結(jié)構(gòu)(4)具有至少一層由Cu、Al、Ag、Cu基合金、Al基合金或Ag基合金組成的金屬層(5)。

10.根據(jù)權(quán)利要求8所述的經(jīng)涂覆的柔性組件(1)，其中基于難熔金屬的涂層(3)是至少一個(gè)導(dǎo)體軌道結(jié)構(gòu)(4)的一部分。

11.根據(jù)權(quán)利要求9所述的經(jīng)涂覆的柔性組件(1)，其中基于難熔金屬的涂層(3)設(shè)置在柔性基板(2)與由Cu、Al、Ag、Cu基合金、Al基合金或Ag基合金組成的金屬層(5)之間。

12.根據(jù)權(quán)利要求8所述的經(jīng)涂覆的柔性組件(1)，其中經(jīng)涂覆的柔性組件(1)還包含至少一層半導(dǎo)體層(6)。

13.根據(jù)權(quán)利要求8所述的經(jīng)涂覆的柔性組件(1)，其中基于難熔金屬的涂層(3)為TFT結(jié)構(gòu)的一部分。

14.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的經(jīng)涂覆的柔性組件(1)，其中經(jīng)涂覆的柔性組件(1)為選自以下的組件：柔性LCD顯示器、柔性O(shè)LED顯示器、柔性電泳顯示器(電子紙)、柔性太陽能電池、電致變色柔性膜、柔性薄膜電池。

15.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的經(jīng)涂覆的柔性組件(1)，所述柔性組件(1)為柔性電子組件。

16.制備經(jīng)涂覆的組件(1)方法，所述方法至少包括以下步驟：

-提供柔性基板(2)；

-通過沉積至少一層基于難熔金屬的金屬涂層(3)來涂覆柔性基板(2)，該涂層是

MoRe涂層，

基于Mo的MoXRe涂層，其中X＝Nb,Ta,Ti,W,

WRe涂層，或

基于W的WXRe涂層，其中X＝Nb,Ta,Ti,Mo，

其特征在于基于難熔金屬的涂層(3)包含大于6原子％且小于50原子％的Re。