[發(fā)明專利]用于形成高平整度鍍銅膜的電鍍銅用有機(jī)添加劑及包含該添加劑的電鍍銅液

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 201680066710.1
• 申請日: 2016-12-07
• 公開（公告）號: CN108350590A
• 公開（公告）日: 2018-07-31
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 李玟炯;李云永
• 申請（專利權(quán)）人: 韓國生產(chǎn)技術(shù)研究院
• 主分類號: C25D3/38
• 分類號: C25D3/38;C25D5/02
• 代理公司: 北京鴻元知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11327
• 代理人: 姜虎;陳英俊

1.一種電鍍銅用有機(jī)添加劑，其添加到用于在形成有圖案的基板上通過電鍍方式形成銅膜的鍍銅液中，其中，

包含至少兩種整平劑，以提高形成于所述圖案上的所述銅膜的均勻度以及平整度，

所述整平劑包含：

第一整平劑，使所述銅膜的表面隆起；以及

第二整平劑，使所述銅膜的表面凹陷，

以重量％(wt％)為基準(zhǔn)，在所述鍍銅液中，所述第一整平劑的濃度高于所述第二整平劑的濃度。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的電鍍銅用有機(jī)添加劑，其中，

以重量％(wt％)為基準(zhǔn)，所述第一整平劑和所述第二整平劑的濃度比處于4.2至9.8倍的范圍內(nèi)。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的電鍍銅用有機(jī)添加劑，其中，

所述第一整平劑包括具有以下述化學(xué)式1表示的結(jié)構(gòu)的化合物：

(化學(xué)式1)

其中，A包括醚官能團(tuán)、酯官能團(tuán)、羰基官能團(tuán)中的一種以上；

T₁和T₂各自獨(dú)立為氫原子，或?yàn)榘压倌軋F(tuán)并具有1至10個碳原子的直鏈結(jié)構(gòu)的烷基或包含醚官能團(tuán)并具有5至20個碳原子的支鏈結(jié)構(gòu)的烷基；

T₃和T₄各自獨(dú)立為氫原子，或?yàn)榫哂?至10個碳原子的直鏈結(jié)構(gòu)的烷基或具有5至20個碳原子的支鏈結(jié)構(gòu)的烷基；

m和n之和是1至50的整數(shù)；

o是1至100的整數(shù)；

X包括選自由氯(Cl)、溴(Br)、碘(I)、硝酸鹽(NO₃)、硫酸鹽(SO₄)、碳酸鹽(CO₃)以及羥基(OH)所組成的離子組中的一種以上。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的電鍍銅用有機(jī)添加劑，其中，

在所述第一整平劑中，A為N-亞硝基甲胺(N-Nitrosomethanamine)、甲酸胺肟(N'-Hydroxyimidoformamide)、(羥基甲腈)甲烷氨化物((Hydroxy nitrilio)methanideammoniate)、尿素(Urea)、二氮烯基甲醇(Diazenylmethanol)以及3-二氮丙啶醇(3-diaziridinol)中的一個，T₁各自獨(dú)立為氫原子，T₂為包含醚官能團(tuán)并具有6個碳原子的支鏈結(jié)構(gòu)的烷基，m和n之和是5至10的整數(shù)，o是2至30的整數(shù)，X為鹵素離子中的一種。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的電鍍銅用有機(jī)添加劑，其中，

所述第一整平劑的分子量范圍是100g/mol至500000g/mol。

6.根據(jù)權(quán)利要求1至5中任一項(xiàng)所述的電鍍銅用有機(jī)添加劑，其中，

所述第二整平劑包括具有以下述化學(xué)式2表示的結(jié)構(gòu)的化合物：

(化學(xué)式2)

其中，R₁各自獨(dú)立為氫原子，或?yàn)榫哂?至10個碳原子的直鏈結(jié)構(gòu)的烷基或具有5至20個碳原子的支鏈結(jié)構(gòu)的烷基；

R₂是選自由縮水甘油醚氧基丙基三甲氧基硅烷、甲基丙烯酸丁酯、甲基丙烯酸乙酯、甲基丙烯酸縮水甘油酯、丙烯酸縮水甘油酯、縮水甘油酯，縮水甘油胺、縮水甘油所組成的物質(zhì)組中的一種以上；

R₃和R₄是包含一個或兩個氮、氧、硫、磷等雜原子的不飽和雜環(huán)化合物，包括選自由氮雜環(huán)丙烯、氧雜環(huán)丙烯、硫雜環(huán)丙烯、二氮雜環(huán)丙烯、氮雜環(huán)丁烯、氧雜環(huán)丁烯、硫雜環(huán)丁烯、二氧雜環(huán)丁烯、二硫雜環(huán)丁烯、吡咯、呋喃、噻吩、磷雜環(huán)戊二烯、咪唑、吡唑、惡唑、異惡唑、噻唑、異噻唑、吡啶、吡喃、噻喃、磷雜苯、二嗪、惡嗪、噻嗪、二噁英、二噻英、氮雜氧雜硫雜二氮雜硫氮雜以及氮雜環(huán)辛四烯所組成的物質(zhì)組中的一種以上；

q和r之和是1至300的整數(shù)；

X包括選自由氯(Cl)、溴(Br)、碘(I)、硝酸鹽(NO₃)、硫酸鹽(SO₄)、碳酸鹽(CO₃)以及羥基(OH)所組成的離子組中的一種以上。