[發(fā)明專利]傳感器半導(dǎo)體器件和生產(chǎn)傳感器半導(dǎo)體器件的方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201680066475.8
• 申請(qǐng)日: 2016-10-14
• 公開（公告）號(hào): CN108292634B
• 公開（公告）日: 2021-07-23
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 內(nèi)博伊沙·內(nèi)納多維奇;阿加塔·沙基奇;米查·因特·贊特;弗雷德里克·威廉·毛里茨·萬赫爾蒙特;希爾科·瑟伊;羅埃爾·達(dá)門
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: AMS有限公司
• 主分類號(hào): H01L23/31
• 分類號(hào): H01L23/31;G01N27/22
• 代理公司: 北京品源專利代理有限公司 11332
• 代理人: 王小衡;胡彬

傳感器半導(dǎo)體器件包括具有主表面(2)的基板(1)、在主表面上或上方的傳感器區(qū)域(3)、在主表面上方的涂覆層(4)以及被形成在傳感器區(qū)域周圍的涂覆層中的溝槽(5)。溝槽提供來自涂覆層的液體的排放。

背景技術(shù)

半導(dǎo)體器件被提供用于包括傳感器特別是相對(duì)濕度傳感器的各種應(yīng)用。濕度傳感器必須與環(huán)境接觸，并且因此可以經(jīng)受冷凝。許多傳感器應(yīng)用要求從冷凝快速恢復(fù)。當(dāng)溫度升高到露點(diǎn)以上時(shí)，存在于傳感器區(qū)域上的水滴應(yīng)該瞬時(shí)消失，露點(diǎn)是恒定大氣壓力下空氣樣品中的水蒸氣以其蒸發(fā)的同一速率冷凝成液態(tài)水的溫度。

美國2013/0069176 Al公開了包括覆蓋有保護(hù)層的傳感器元件區(qū)域的集成電路封裝。集成電路被安裝在載體上并且被接合線連接。覆蓋接合線的包封在傳感器元件區(qū)域上具有開口。在開口內(nèi)側(cè)，保護(hù)層包括環(huán)繞傳感器元件區(qū)域的通道。

日本2010-050452 A公開了用于制造具有被布置在引線框架上的多個(gè)芯片的傳感器器件的方法。芯片的檢測器結(jié)構(gòu)可以包括濕度傳感器的聚合物膜。緩沖層被形成在集成的電子電路上方，并且使檢測器結(jié)構(gòu)自由。模塑的蓋接觸檢測器結(jié)構(gòu)的外周處的緩沖層，因此在檢測器結(jié)構(gòu)上方形成密封的腔體。

日本2012-068054 A公開了包括被親水的膜環(huán)繞的濕氣敏感膜的靜電電容型濕度傳感器，其具有其中冷凝的水形成膜的凹槽。如果在濕度傳感器周圍的空氣的溫度變得高于露點(diǎn)溫度，則親水膜的凹槽部分中的水蒸發(fā)，并且水中所含有的污物保留。

美國2009/0243015 Al公開了一種用于制造半導(dǎo)體器件的方法，其中，樹脂層被形成在包括光電二極管的基板的上表面上，使得樹脂層不覆蓋光接收區(qū)域。同心凹槽被形成在樹脂層中，使得凹槽環(huán)繞光接收區(qū)域。光電二極管被用模塑樹脂密封。凹槽防止模塑樹脂流入到光接收區(qū)域中。

德國112013004203 T5公開了包括濕氣敏感層的傳感器器件，濕氣敏感層設(shè)置有凹部以防止模塑期間樹脂進(jìn)入測量部分。

日本2002-162380 A公開了包括在離子感測部分周圍的凹陷部的半導(dǎo)體離子傳感器。凹陷部防止樹脂流入到離子感測部分中。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明的目的是提出一種傳感器半導(dǎo)體器件，特別是相對(duì)濕度傳感器，其提供冷凝的快速移除而無需內(nèi)部加熱。本發(fā)明的再一目的是提出一種生產(chǎn)此類傳感器半導(dǎo)體器件的方法。

這些目的用根據(jù)權(quán)利要求1所述的傳感器半導(dǎo)體器件和用根據(jù)權(quán)利要求7所述的生產(chǎn)傳感器半導(dǎo)體器件的方法來實(shí)現(xiàn)。從從屬權(quán)利要求得到再一些實(shí)施例和變型例。

傳感器半導(dǎo)體器件包括具有主表面的基板、在主表面上或上方的傳感器區(qū)域、在傳感器區(qū)域中的傳感器元件、在主表面上方的涂覆層以及被形成在傳感器區(qū)域周圍的涂覆層中的溝槽。溝槽提供來自涂覆層的液體的排放。傳感器元件由涂覆層完全覆蓋，涂覆層由可以被濕氣滲透的材料形成。涂覆層具有背離基板的上表面，上表面在由溝槽環(huán)繞的區(qū)域中是平坦的。

在傳感器半導(dǎo)體器件的實(shí)施例中，親水的襯里被布置在溝槽中。親水的襯里也可以被布置在主表面與涂覆層之間。親水的襯里可以被暴露在溝槽中。

在傳感器半導(dǎo)體器件的再一實(shí)施例中，在傳感器區(qū)域周圍的涂覆層中形成通道，使得溝槽被布置在傳感器區(qū)域與通道之間。

在傳感器半導(dǎo)體器件的再一實(shí)施例中，模塑化合物被布置在涂覆層上或上方，使得傳感器區(qū)域和溝槽不被模塑化合物覆蓋，并且通道完全環(huán)繞整個(gè)沒有模塑化合物的區(qū)域。

在傳感器半導(dǎo)體器件的再一實(shí)施例中，被溝槽環(huán)繞的區(qū)域整個(gè)被涂覆層覆蓋。

在傳感器半導(dǎo)體器件的再一實(shí)施例中，涂覆層包括濕氣敏感材料。