[發明專利]用于高縱橫比特征的干燥工藝

有效

• 申請號: 201680057046.4
• 申請日: 2016-09-13
• 公開（公告）號: CN108140546B
• 公開（公告）日: 2022-04-12
• 發明（設計）人: 羅曼·古科;陳翰文;史蒂文·韋爾韋貝克;簡·德爾馬斯
• 申請（專利權）人: 應用材料公司
• 主分類號: H01L21/02
• 分類號: H01L21/02;H01L21/67
• 代理公司: 北京律誠同業知識產權代理有限公司 11006
• 代理人: 徐金國;趙靜

1.一種基板處理方法，包括以下步驟：

輸送溶劑至處理腔室；

以器件側向下的定向輸送基板至所述處理腔室；

在所述處理腔室內緊鄰于所述基板可移動地放置可移動擋板，所述可移動擋板配置為通過致動器從升高位置移動到處理位置；

輸送液態CO₂至所述處理腔室且將所述液態CO₂與所述溶劑混合；

輸送一分量大于所述處理腔室的容量的額外液態CO₂至所述處理腔室，以置換所述溶劑；

在所述處理腔室中將所述液態CO₂相轉變為超臨界CO₂；及

通過等溫減壓所述處理腔室及自所述處理腔室排出氣體CO₂來干燥所述基板。

2.如權利要求1所述的方法，其中所述溶劑與液態CO₂可互溶。

3.如權利要求1所述的方法，進一步包括以下步驟：在輸送液態CO₂至所述處理腔室且將所述液態CO₂與所述溶劑混合期間和/或在輸送一分量大于所述處理腔室的容量的額外液態CO₂至所述處理腔室以置換所述溶劑期間，依序或同時輸送超臨界CO₂至所述處理腔室。

4.如權利要求1所述的方法，其中在所述處理腔室中將所述液態CO₂相轉變為超臨界CO₂的所述步驟包括以下步驟：輸送超臨界CO₂至所述處理腔室。

5.如權利要求4所述的方法，其中所述溶劑為丙酮且提供一分量的所述溶劑至所述處理腔室，所述分量經配置以至少部分地浸沒所述基板。

6.如權利要求4所述的方法，其中在所述處理腔室中將所述液態CO₂相轉變為超臨界CO₂的所述步驟進一步包括以下步驟：在低于1分鐘內將所述處理腔室的處理容積自20℃加熱至50℃。

7.如權利要求2所述的方法，其中所述溶劑選自由以下溶劑所組成的群組：丙酮、異丙醇、乙醇、甲醇、N-甲基-2-吡咯烷酮、N-甲基甲酰胺、1，3-二甲基-2-咪唑啉酮、二甲基乙酰胺、及二甲基亞砜。

8.一種基板處理方法，包括以下步驟：

輸送溶劑至處理腔室，所述溶劑與液態CO₂可互溶；

以器件側向下的定向輸送基板至所述處理腔室；

在所述處理腔室內緊鄰于所述基板可移動地放置可移動擋板，所述可移動擋板配置為通過致動器從升高位置移動到處理位置；

輸送超臨界CO₂至所述處理腔室且將所述超臨界CO₂與所述溶劑混合；

輸送一分量大于所述處理腔室的容量的額外超臨界CO₂至所述處理腔室，以置換所述溶劑；及

通過等溫減壓所述處理腔室及自所述處理腔室排出氣體CO₂來干燥所述基板。

9.如權利要求8所述的方法，進一步包括以下步驟：通過輸送與液態CO₂可互溶的所述溶劑至所述處理腔室，在所述處理腔室中將所述液態CO₂相轉變為超臨界CO₂。

10.如權利要求8所述的方法，其中所述溶劑為丙酮且提供一分量的所述溶劑至所述處理腔室，所述分量經配置以至少部分地浸沒所述基板。

11.如權利要求9所述的方法，其中在所述處理腔室中將所述液態CO₂相轉變為超臨界CO₂的所述步驟進一步包括以下步驟：在低于1分鐘內將所述處理腔室的處理容積自20℃加熱至50℃。