[發明專利]射頻(RF)阻抗調諧操作的監控

有效

• 申請號: 201680048481.0
• 申請日: 2016-08-08
• 公開（公告）號: CN107924804B
• 公開（公告）日: 2020-01-07
• 發明（設計）人: 戴維·J·庫莫;R·萊因哈特;Y·埃爾納;丹尼爾·M·吉爾
• 申請（專利權）人: MKS儀器有限公司
• 主分類號: H01J37/32
• 分類號: H01J37/32
• 代理公司: 11018 北京德琦知識產權代理有限公司
• 代理人: 梁洪源;康泉

1.一種射頻(RF)控制系統，包括：

RF生成器，所述RF生成器包括以可調整的目標頻率輸出RF信號的功率放大器，所述RF生成器還包括控制器，所述控制器改變所述RF信號的所述頻率；以及

接收所述RF信號的匹配網絡，所述匹配網絡包括至少一個阻抗調諧元件，所述阻抗調諧元件根據從所述控制器傳遞的命令可調整，

其中在當所述RF信號在第一目標頻率處時的第一操作模式中，所述控制器能夠既關于所述目標頻率調整所述RF信號的所述頻率又調整所述調諧元件，以改變阻抗匹配，并且在當所述RF信號正在調整至第二目標頻率時的第二操作模式中，所述控制器抑制對所述RF信號的所述頻率的關于所述目標頻率的調整以改變阻抗匹配，并且能夠調整所述阻抗調諧元件以改變阻抗匹配。

2.根據權利要求1所述的射頻(RF)控制系統，其中在所述第一操作模式中，所述控制器能夠調整所述頻率和所述調諧元件，以改變所述RF生成器與負載之間的所述阻抗匹配，并且在所述第二操作模式中，所述控制器能夠調整所述阻抗調諧元件以提供所述RF生成器與所述負載之間的阻抗匹配。

3.根據權利要求1所述的射頻(RF)控制系統，其中所述調諧元件包括負載元件和調節元件，并且在所述第一操作模式中和在所述第二操作模式中，所述控制器調整所述負載元件和所述調節元件中的至少一個。

4.根據權利要求3所述的射頻(RF)控制系統，其中在所述第一操作模式中，所述控制器調整所述頻率以及所述負載元件和所述調節元件中的至少一個，以提供所述RF生成器與負載之間的阻抗匹配，并且在所述第二操作模式中，所述控制器調整所述負載元件和所述調節元件中的至少一個，以提供所述RF生成器與所述負載之間的阻抗匹配，并且將所述頻率調整至目標頻率。

5.根據權利要求1所述的射頻(RF)控制系統，其中在所述第一操作模式中，所述頻率在關于目標頻率的預定范圍內被調整。

6.根據權利要求5所述的射頻(RF)控制系統，其中在所述第二操作模式中，所述控制器將所述頻率從所述第一目標頻率調整至所述第二目標頻率。

7.根據權利要求6所述的射頻(RF)控制系統，其中在所述第二操作模式中，所述控制器調整所述頻率而不考慮阻抗匹配條件。

8.根據權利要求1所述的射頻(RF)控制系統，其中在所述第二操作模式中，所述控制器將所述頻率從所述第一目標頻率調整至所述第二目標頻率。

9.根據權利要求8所述的射頻(RF)控制系統，其中在所述第二操作模式中，所述控制器調整所述頻率而不考慮阻抗匹配條件。

10.根據權利要求1所述的射頻(RF)控制系統，其中所述匹配網絡將指示相應RF輸出信號的特性的特性信號傳送至所述RF生成器。

11.根據權利要求1所述的射頻(RF)控制系統，其中所述RF生成器以連續波模式或脈沖模式操作。

12.一種射頻(RF)控制系統，包括：

RF生成器，所述RF生成器包括輸出具有調整目標頻率的RF信號的功率放大器，所述RF生成器輸出所述RF信號至匹配網絡，所述匹配網絡接收所述RF信號，所述匹配網絡包括阻抗調諧元件；以及

控制器，所述控制器改變所述RF信號的頻率并將命令傳遞至所述匹配網絡，以調整所述阻抗調諧元件，

其中在當所述RF信號在第一目標頻率處時的第一操作模式中，所述控制器既關于所述目標頻率調整所述RF信號的所述頻率又調整所述調諧元件，以改變所述RF生成器與負載之間的阻抗，并且在當所述RF信號正在調整至第二目標頻率時的第二操作模式中，所述控制器在僅調整所述調諧元件以改變所述阻抗的同時，將所述RF信號的所述頻率調整至所述第二目標頻率。