[發明專利]泵系統

有效

• 申請號: 201680037682.0
• 申請日: 2016-07-14
• 公開（公告）號: CN107850064B
• 公開（公告）日: 2019-07-23
• 發明（設計）人: 托馬斯·德賴費特;羅蘭·穆勒;馬克斯·佩利坎;丹尼爾·施奈登巴赫;克里斯蒂安·拜爾
• 申請（專利權）人: 萊寶有限公司
• 主分類號: F04B39/06
• 分類號: F04B39/06;F04C29/04;F04D19/04;F04D29/58;F04C18/12;F04C18/344;F04C18/16
• 代理公司: 北京鴻德海業知識產權代理事務所(普通合伙) 11412
• 代理人: 袁媛

本發明涉及一種泵系統，所述泵系統包括真空泵(12)和連接至所述真空泵(12)的冷卻元件(18)。冷卻劑供給(20)和冷卻劑排放(22)連接至所述冷卻元件(18)，用于通過利用冷卻劑吸收和排放熱量來冷卻所述真空泵。所述冷卻劑供給(20)和所述冷卻劑排放(22)連接至熱交換器(24)，從而使熱量從所述冷卻劑排放(22)傳遞至所述冷卻劑供給(20)。

技術領域

本發明涉及一種泵系統，其特別用于泵入接近冷凝點和/或接近沉積點的氣體/蒸汽。

背景技術

在一些涂覆工藝中(如在半導體工業或在平面屏幕的制造過程中)，需要輸送接近冷凝點(從氣態轉化為液態)和/或接近沉積點(轉化為固態)的氣體/蒸汽。特別地，第二種情況對于真空泵來說是至關重要的，因為產生的固體會在真空泵中以灰塵或沉積物的形式堆積并阻塞真空泵。這種情況首先發生在真空泵的排放側，因為此處由更高的壓力主導且蒸汽更接近冷凝/沉積點。

避免這一問題的一種方式是使用附加氣體(如氣鎮、凈化氣體)稀釋蒸汽，并且保持它們的分壓足夠低。然而，在一些應用中，由于需要過量的輔助氣體，這種解決方案并不是有效的。在這種情況下，推薦提高真空泵的溫度，以將輸送物質以氣體或蒸汽的形式輸送通過真空泵。由于壓力較大，真空泵排氣管排放側的溫度是至關重要的。

在現有技術中，針對冷卻水控制的常規系統用于回火目的。這種系統設置和/或調節冷卻水流，從而使真空泵基準位置的溫度(通常位于排放側)保持在預定溫度。

這種解決方案的缺點在于，可能僅有少量冷卻水和/或暫時性地沒有任何冷卻水供應至真空泵。根據真空泵的類型，這可能會導致熱敏構件，如馬達、軸承或電子元件冷卻不足。

由于真空泵的排氣管也必須維持在高溫水平，該管通常進一步單獨加熱(例如，通過電操作加熱套管)。這樣會降低真空泵的能效，增加成本。

這些工藝中存在的另一個問題是，使用供應至真空泵的凈化氣體可能導致工藝氣體在供應位置的局部冷卻。這可能會導致不期望的冷凝和/或沉積。

發明內容

本發明的一個目的在于提供一種泵系統，特別用于輸送接近冷凝點和/或接近沉積點的氣體/蒸汽，其中，當泵系統可靠且有效地運行時，可以防止冷凝和/或沉積。

該目的通過以下方法實現：

一種泵系統，包括：

真空泵(12)，

冷卻元件(18)，其與所述真空泵(12)連接并且具有冷卻劑供應管(20)和冷卻劑排放管(22)，用于通過利用冷卻劑吸收和排放熱量來冷卻所述真空泵(12)，

其中，所述冷卻劑供應管(20)和所述冷卻劑排放管(22)與熱交換器(24)連接，從而使熱量從所述冷卻劑排放管(22)傳遞至所述冷卻劑供應管(20)；

所述熱交換器(24)與冷卻劑入口(28)和冷卻劑出口(30)連接；

設置單個冷卻回路，所述單個冷卻回路從所述冷卻劑入口(28)開始，經由所述熱交換器(24)延伸至所述冷卻元件(18)，再返回所述熱交換器(24)和所述冷卻劑出口(30)，從而利用所述冷卻劑將從所述真空泵(12)排出的熱量經由所述熱交換器(24)傳遞至所述冷卻劑供應管(20)中的冷卻劑。