[發(fā)明專利]泵系統(tǒng)有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201680037682.0 | 申請日： | 2016-07-14 |
| 公開（公告）號： | CN107850064B | 公開（公告）日： | 2019-07-23 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 托馬斯·德賴費(fèi)特;羅蘭·穆勒;馬克斯·佩利坎;丹尼爾·施奈登巴赫;克里斯蒂安·拜爾 | 申請（專利權(quán)）人： | 萊寶有限公司 |
| 主分類號： | F04B39/06 | 分類號： | F04B39/06;F04C29/04;F04D19/04;F04D29/58;F04C18/12;F04C18/344;F04C18/16 |
| 代理公司： | 北京鴻德海業(yè)知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 11412 | 代理人： | 袁媛 |
| 地址： | 德國*** | 國省代碼： | 德國;DE |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 系統(tǒng) | ||
1.一種泵系統(tǒng)，包括：
真空泵(12)，
冷卻元件(18)，其與所述真空泵(12)連接并且具有冷卻劑供應(yīng)管(20)和冷卻劑排放管(22)，用于通過利用冷卻劑吸收和排放熱量來冷卻所述真空泵(12)，
其中，所述冷卻劑供應(yīng)管(20)和所述冷卻劑排放管(22)與熱交換器(24)連接，從而使熱量從所述冷卻劑排放管(22)傳遞至所述冷卻劑供應(yīng)管(20)；
所述熱交換器(24)與冷卻劑入口(28)和冷卻劑出口(30)連接；
設(shè)置單個(gè)冷卻回路，所述單個(gè)冷卻回路從所述冷卻劑入口(28)開始，經(jīng)由所述熱交換器(24)延伸至所述冷卻元件(18)，再返回所述熱交換器(24)和所述冷卻劑出口(30)，從而利用所述冷卻劑將從所述真空泵(12)排出的熱量經(jīng)由所述熱交換器(24)傳遞至所述冷卻劑供應(yīng)管(20)中的冷卻劑。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的泵系統(tǒng)，其中，在所述冷卻劑供應(yīng)管(20)和/或所述冷卻劑入口(28)與所述熱交換器(24)之間設(shè)置有調(diào)節(jié)閥(32、38)，用于調(diào)節(jié)所述冷卻劑的流量。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的泵系統(tǒng)，其中，設(shè)置與所述真空泵(12)連接的凈化氣體供給管(60)，用于為泵送過程提供凈化氣體，其中，用于預(yù)熱所述凈化氣體的所述凈化氣體供給管(60)與所述熱交換器(24)和/或所述冷卻劑排放管(22)連接，從而利用所述冷卻劑將從所述真空泵(12)排出的熱量傳遞至所述凈化氣體。
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