[發明專利]用于光學纖維連接的方法和設備

有效

• 申請號: 201680021973.0
• 申請日: 2016-04-11
• 公開（公告）號: CN107533195B
• 公開（公告）日: 2021-01-15
• 發明（設計）人: 呂中良;陳濤;F·J·貝里奧斯;張家宗
• 申請（專利權）人: ASML控股股份有限公司
• 主分類號: G02B6/26
• 分類號: G02B6/26;G03F7/20;G03F9/00
• 代理公司: 北京市金杜律師事務所 11256
• 代理人: 王茂華;呂世磊

1.一種用于光學耦合光學部件的系統，包括：

第一部件，包括透鏡琢面，所述透鏡琢面被配置為朝向焦點會聚輻射；和

第二部件，被光學耦合至所述第一部件，所述第二部件包括錐形琢面，所述錐形琢面和所述透鏡琢面彼此間隔開，使得來自所述透鏡琢面的已會聚的或者正在會聚的所述輻射與由所述錐形琢面誘導的局部倏逝波的形狀匹配，以便在所述第一部件與所述第二部件之間建立倏逝波耦合，

其中在所述透鏡琢面與所述錐形琢面之間的間隙大于0，且小于或等于100μm。

2.根據權利要求1所述的系統，其中所述第一光學部件和/或所述第二光學部件包括光學纖維。

3.根據權利要求2所述的系統，其中所述第一光學部件和/或所述第二光學部件包括光子晶體光纖。

4.根據權利要求3所述的系統，其中所述第一光學部件和所述第二光學部件包括光子晶體光纖。

5.根據權利要求2至4中的任一項所述的系統，其中所述透鏡琢面的透鏡半徑小于或等于從所述光纖的芯的中心到所述芯的外周緣的距離。

6.根據權利要求2至4中的任一項所述的系統，其中所述透鏡琢面的透鏡半徑大于從所述光纖的芯的中心到所述芯的外周緣的距離。

7.根據權利要求2至4中的任一項所述的系統，其中所述光纖是單模光纖。

8.根據權利要求1至4中的任一項所述的系統，其中所述錐形琢面的前琢面位于所述透鏡琢面的大約焦點位置處。

9.根據權利要求1至4中的任一項所述的系統，其中所述錐形琢面的前琢面尺寸大于或等于0，且小于或等于100nm。

10.根據權利要求1至4中的任一項所述的系統，其中所述透鏡琢面是附接至所述第一光學部件的、相對于所述第一光學部件的單獨的結構。

11.根據權利要求1至4中的任一項所述的系統，其中所述透鏡琢面與所述第一光學部件是一體的。

12.根據權利要求1至4中的任一項所述的系統，其中所述錐形琢面是附接至所述第二光學部件的、相對于所述第二光學部件的單獨的結構。

13.根據權利要求1至4中的任一項所述的系統，其中所述錐形琢面與所述第二光學部件是一體的。

14.根據權利要求1至4中的任一項所述的系統，其中通過連接的輻射的光譜寬度是400nm或更大。

15.根據權利要求1至4中的任一項所述的系統，其中通過連接的輻射在500nm至900nm的范圍內。

16.根據權利要求1至4中的任一項所述的系統，其中在所述錐形琢面內的波傳播通過全內反射被約束在錐內。

17.根據權利要求1至4中的任一項所述的系統，其中所述錐形琢面的長度大于0，且小于或等于100μm。

18.根據權利要求1至4中的任一項所述的系統，其中所述透鏡琢面的周緣和所述錐形琢面的周緣是圓形的。

19.一種光譜加寬的輻射設備，包括：

激光器，被配置成通過所述激光器的輸出發出輻射；

光學纖維，被光學耦合至所述激光器的所述輸出，所述光學纖維具有輸入以接收來自所述激光器的所述輻射并且具有輸出以提供光譜加寬的輸出輻射，所述光學纖維被配置成將來自所述激光器的所述輻射光譜加寬至在標稱波長周圍至少0.5nm的光譜寬度；和

根據權利要求1至18中的任一項所述的系統。