[發(fā)明專利]多反射鏡陣列

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201680018216.8
• 申請日: 2016-03-16
• 公開（公告）號: CN107407801B
• 公開（公告）日: 2021-03-05
• 發(fā)明（設(shè)計）人: J.霍恩;S.圖爾克;O.諾德曼;U.比爾
• 申請（專利權(quán)）人: 卡爾蔡司SMT有限責(zé)任公司
• 主分類號: G02B26/08
• 分類號: G02B26/08
• 代理公司: 北京市柳沈律師事務(wù)所 11105
• 代理人: 邱軍;王蕊瑞

1.一種微光刻的投射曝光設(shè)備(1)的照明光學(xué)單元(4)的多反射鏡陣列，包括：

1.1具有反射區(qū)域(20)的多個可移位反射鏡元件(19)，

1.2多個致動器，位移所述反射鏡元件(19)，以及

1.3多個被動電衰減裝置(39)，衰減所述反射鏡元件(19)的位移位置的擾動，

1.4其中，所述致動器為了位移所述反射鏡元件(19)中的一個反射鏡元件而各具有至少一個致動器電極(33)，致動信號能夠通過信號線(36)施加到所述致動器電極，

1.5其中，所述衰減裝置(39)為了衰減所述反射鏡元件(19)的位移位置的擾動，各以與所述致動器電極(33)之一串聯(lián)連接的方式布置，

1.6其中，所述衰減裝置(39)包括從反向并聯(lián)連接二極管，開關(guān)電容器結(jié)構(gòu)和晶體管電路的組中選擇的至少一個裝置，

1.7其中，所述衰減裝置是可變可調(diào)的，以及

以下條件中的至少一個適用：

i)所述衰減裝置各實施為具有的面積最多為關(guān)聯(lián)的反射鏡元件的反射區(qū)域的10％的結(jié)構(gòu)；

ii)所述多反射鏡陣列還包含在致動器路程中的低通濾波器，該低通濾波器具有1000Hz的截止頻率且從10kHz的頻率起，具有至少25dB的衰減；

iii)所述衰減裝置各實施為具有的面積最多為關(guān)聯(lián)的反射鏡元件的反射區(qū)域的10％的結(jié)構(gòu)；

iv)所述多反射鏡陣列還包含在致動器路程中的低通濾波器，該低通濾波器具有1000Hz的截止頻率且從10kHz的頻率起，具有至少25dB的衰減；以及

v)所述多反射鏡陣列還包含在致動器路程中的低通濾波器，該低通濾波器具有1000Hz的截止頻率且從10kHz的頻率起，具有至少25dB的衰減，其中所述衰減裝置各實施為ASIC上結(jié)構(gòu)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的多反射鏡陣列，其特征在于，所述衰減裝置(39)各實施為能量耗散裝置。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的多反射鏡陣列，其特征在于，所述衰減裝置(39)各實施為ASIC上結(jié)構(gòu)。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的多反射鏡陣列，其特征在于，所述衰減裝置(39)各實施為具有的面積最多為關(guān)聯(lián)的反射鏡元件(19)的反射區(qū)域的10％的結(jié)構(gòu)。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的多反射鏡陣列，所述衰減裝置各具有的有效串聯(lián)電阻的范圍為1MΩ至100GΩ。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的多反射鏡陣列，其特征在于，所述衰減裝置(39)具有至少一個開關(guān)電容器結(jié)構(gòu)(42)，該至少一個開關(guān)電容器結(jié)構(gòu)的開關(guān)頻率的范圍為10kHz至10MHz。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的多反射鏡陣列，其特征在于，在所述致動器路程中提供低通濾波器，該低通濾波器具有1000Hz的截止頻率且從10kHz的頻率起，具有至少25dB的衰減。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的多反射鏡陣列，其特征在于，所述衰減裝置各實施為ASIC上結(jié)構(gòu)。

9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的多反射鏡陣列，其特征在于，所述衰減裝置各實施為具有的面積最多為關(guān)聯(lián)的反射鏡元件的反射區(qū)域的10％的結(jié)構(gòu)。

10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的多反射鏡陣列，其特征在于，每個衰減裝置具有的有效串聯(lián)電阻的范圍為1MΩ至100GΩ。

11.根據(jù)權(quán)利要求1所述的多反射鏡陣列，其特征在于，所述衰減裝置具有至少一個開關(guān)電容器結(jié)構(gòu)，該至少一個開關(guān)電容器結(jié)構(gòu)的開關(guān)頻率的范圍為10kHz至10MHz。

12.根據(jù)權(quán)利要求1所述的多反射鏡陣列，其特征在于，所述多反射鏡陣列還包含在致動器路程中的低通濾波器，該低通濾波器具有1000Hz的截止頻率且從10kHz的頻率起，具有至少25dB的衰減。