[發明專利]楔形接合用部件

在審

• 申請號: 201680007875.1
• 申請日: 2016-01-28
• 公開（公告）號: CN107210243A
• 公開（公告）日: 2017-09-26
• 發明（設計）人: 重吉秀和
• 申請（專利權）人: 京瓷株式會社
• 主分類號: H01L21/607
• 分類號: H01L21/607;H01L21/60;H01L21/603
• 代理公司: 中科專利商標代理有限責任公司11021
• 代理人: 劉文海

技術領域

本發明涉及一種應用于向被接合構件接合引線的楔形接合裝置的楔形接合用部件。

背景技術

一直以來，在向被接合構件連接引線時使用楔形接合裝置。例如，專利文獻1公開了楔形接合裝置所使用的部件(楔形接合用部件)的例子。在專利文獻1所述的例子中，按壓導電引線的工具前端部由從氮化硅、氧化鋯、賽隆(sialon)、碳化硅以及氧化鋁中選擇出的至少一種陶瓷燒結體形成。

現有技術文獻

專利文獻

專利文獻1：日本特開平7-178568號公報

發明內容

本發明的楔形接合用部件具備與引線接觸的表面，該表面的至少一部分由以氧化鋁為主成分且包含碳化鈦作為副成分的陶瓷燒結體構成。

附圖說明

圖1是示出具備本實施方式的楔形接合用部件的楔形接合裝置的簡要結構的一例的示意圖。

圖2是示出圖1所示的楔形接合用部件的簡要結構的主要部分的示意性側視圖。

圖3是圖2所示的楔形接合用部件的立體圖。

圖4是示出接合桿的其它例子的立體圖。

圖5是示出楔形接合用部件的其它例子的立體圖。

圖6是楔形桿的前端面的一部分的立體圖。

具體實施方式

當前，謀求更少發生脫粒且耐久性更高的楔形接合用部件。

本發明的楔形接合用部件具備與引線接觸的表面，該表面的至少一部分由以氧化鋁為主成分且作為副成分包含碳化鈦的陶瓷燒結體構成。由此，本發明的楔形接合用部件的耐久性高。需要說明的是，陶瓷燒結體中的主成分是指以在構成陶瓷燒結體的全部成分的合計100質量％之中超過50質量％的方式含有的成分。

以下，針對本發明的楔形接合用部件進行詳細說明。圖1是示出楔形接合裝置10的簡要結構的一例的示意圖。圖2是將圖1所示的楔形接合裝置10的一部分放大而成的剖視圖。圖3是與圖2對應的立體圖。

圖1所示的楔形接合裝置10具備：接合桿2、引線輸送機構3、振動傳遞機構4和未圖示的加壓機構。

引線輸送機構3將引線1供給至接合桿2。振動傳遞機構4對接合桿2施加超聲波振動。未圖示的加壓機構對接合桿2施加載重。

接合桿2將從加壓機構(未圖示)受到的載重和從振動傳遞機構4受到的超聲波振動施加于引線1。通過該載重和超聲波信號，引線1與位于電路基板(未圖示)上的電極等被接合構件5進行接合。

引線輸送機構3具備：轉筒31、第一引線引導件32、第二引線引導件33、支承座34、以及引線夾持件35。

轉筒31安裝于支承座34并卷繞有引線1。第一引線引導件32和第二引線引導件33具備供引線1插入的貫通孔，將所述第一引線引導件32和第二引線引導件33沿著引線1的路徑進行配置。圖1示出了在轉筒31與接合桿2的前端部之間配置引導件的例子。

引線1例如由直徑為30μm以上且3mm以下的銅或鋁形成。

在楔形接合裝置10中，本發明的楔形接合用部件是指，具有與引線1接觸的表面的結構，根據圖1所示的例子為接合桿2、第一引線引導件32、第二引線引導件33、以及引線夾持件35。

如圖3和圖4所示，接合桿2也可以在前端側具有按壓引線1的槽2b。如圖5所示，第一引線引導件32具備貫通孔32a。此外，如圖5所示，第二引線引導件33具備貫通孔33a。從轉筒31供給的引線1穿過貫通孔32a和貫通孔33a而被引導至接合桿2的槽2b。引線1在穿過貫通孔32a和貫通孔33a時與貫通孔32a和貫通孔33a的內部的表面接觸。

振動傳遞機構4具備：超聲波振蕩器41、螺栓緊固朗之萬型振動器(以下稱為BLT振動器)42、錐體(cone)43和焊頭(horn)44。接合桿2被固定于焊頭44。從超聲波振蕩器41振蕩的電信號被BLT振動器42轉換成縱向振動的超聲波振動。該超聲波振動經由錐體43和焊頭44而被轉換成接合桿2的撓曲振動，從而使接合桿2的前端部產生超聲波振動。圖1中，第一引線引導件32被保持于支承座34的側部，第二引線引導件33被保持于焊頭44的側部。

引線夾持件35在接合后切斷引線1時固定引線1。引線夾持件35安裝于焊頭44。

圖4是接合桿2的其它實施方式的立體圖。如圖4所示，接合桿2也可以具備用于使引線1穩定而朝前端部供給的貫通孔2a。楔形接合用部件是在供引線滑動的部位處使用的所有部件，其種類、形狀等沒有特別限定。