[發明專利]電磁波檢測器以及氣體分析裝置

有效

• 申請號: 201680007199.8
• 申請日: 2016-01-04
• 公開（公告）號: CN107209057B
• 公開（公告）日: 2019-08-13
• 發明（設計）人: 藤澤大介;小川新平
• 申請（專利權）人: 三菱電機株式會社
• 主分類號: G01J1/02
• 分類號: G01J1/02;G01N21/41;H01L35/32
• 代理公司: 中國國際貿易促進委員會專利商標事務所 11038
• 代理人: 張麗

本發明涉及一種電磁波檢測器，具備具有通過支撐腳中被空保持于基板上的受光部的第1電磁波傳感器、具有通過與第1電磁波傳感器的支撐腳相同構造的支撐腳被中空保持于基板上的受光部并且與第1電磁波傳感器鄰接設置的第2電磁波傳感器，該電磁波檢測器的特征在于，第1電磁波傳感器的受光部具有反射膜，第2電磁波傳感器的受光部具有檢測預定波長區域或者預定偏振的光的電磁波吸收體，輸出第2電磁波傳感器的輸出與第1電磁波傳感器的輸出的差分。

技術領域

本發明涉及將特定波段的電磁波變換成熱而檢測的電磁波檢測器以及具備該電磁波檢測器的氣體分析裝置。

背景技術

家電產品等為了實現節能且舒適的空間，需要檢測人體的位置以及室內的溫度分布的高靈敏度且簡便的電磁波檢測器。作為這樣的電磁波檢測器，以往一直使用將熱電堆用于像素的電磁波傳感器。在該電磁波傳感器中，將熱電偶的熱接點配置于腔體上、將冷接點配置于框體上，能夠根據與熱接點與冷接點的溫度差對應地產生的熱電動勢來識別熱接點的溫度。另外，通過降低熱接點的熱容、抑制從熱接點向冷接點的導熱性、提高電磁波吸收膜的吸收等實現高靈敏度化(參照專利文獻1)。

現有技術文獻

專利文獻1：日本特開2005－172762號公報

發明內容

在以往的電磁波檢測器的情況下，在選擇要檢測的電磁波的波長時，在受光部(溫度傳感器部)形成吸收預定波長區域的電磁波的電磁波吸收膜，從而能夠使電磁波的傳感器靈敏度具有波長選擇性。然而，在電磁波吸收部是熱電堆的情況下，除了在熱電偶的熱接點的電磁波吸收以外，在對受光部進行中空保持的支撐腳部(例如，布線或熱電偶)也發生電磁波吸收。由該支撐腳部的電磁波吸收所引起的傳感器輸出使電磁波靈敏度的波長選擇性劣化。

本發明是為了解決上述問題而完成的，目的在于提供一種具備提高了電磁波靈敏度的波長選擇性的電磁波檢測器的氣體分析裝置。

本發明涉及一種電磁波檢測器，具備：基板；第1電磁波傳感器，具有通過支撐腳被中空保持于基板上的受光部；以及第2電磁波傳感器，具有通過與第1電磁波傳感器的支撐腳相同構造的支撐腳被中空保持于基板上的受光部，第2電磁波傳感器與第1電磁波傳感器鄰接設置，電磁波檢測器的特征在于，第1電磁波傳感器的受光部具有平坦的整面反射膜，第2電磁波傳感器的受光部具有檢測預定波長區域或者預定偏振的光的電磁波吸收體，輸出第2電磁波傳感器的輸出與第1電磁波傳感器的輸出的差分。

本發明的電磁波檢測器通過構成為如上所述，能夠去掉由支撐腳部的電磁波吸收所引起的傳感器輸出，所以電磁波靈敏度的波長選擇性提高，其中該支撐腳部對受光部進行中空保持。

附圖說明

圖1是本發明的實施方式1的電磁波傳感器的俯視圖。

圖2是圖1的I－I線以及II－II線的剖視圖。

圖3是本發明的實施方式1的電磁波檢測器的俯視圖。

圖4是圖3的IV－IV線的剖視圖。

圖5是圖3的V－V線的剖視圖。

圖6是用于說明本發明的實施方式1的熱電偶的連接的示意圖。

圖7是用于說明電磁波檢測器的吸收特性的示意圖。

圖8是本發明的實施方式2的電磁波檢測器的俯視圖。

圖9是圖8的IX－IX線的剖視圖。

圖10是本發明的實施方式4的電磁波檢測器的俯視圖。

圖11是用于說明本發明的實施方式5的電磁波檢測器的吸收特性的示意圖。

圖12是示出本發明的實施方式6的氣體分析裝置的概略的圖。