[發明專利]電磁波檢測器以及氣體分析裝置

有效

• 申請號: 201680007199.8
• 申請日: 2016-01-04
• 公開（公告）號: CN107209057B
• 公開（公告）日: 2019-08-13
• 發明（設計）人: 藤澤大介;小川新平
• 申請（專利權）人: 三菱電機株式會社
• 主分類號: G01J1/02
• 分類號: G01J1/02;G01N21/41;H01L35/32
• 代理公司: 中國國際貿易促進委員會專利商標事務所 11038
• 代理人: 張麗

1.一種電磁波檢測器，具備：

基板；

第1電磁波傳感器，具有通過支撐腳被中空保持于所述基板上的受光部；以及

第2電磁波傳感器，具有通過與所述第1電磁波傳感器的支撐腳相同構造的支撐腳被中空保持于所述基板上的受光部，所述第2電磁波傳感器與所述第1電磁波傳感器鄰接設置，

所述電磁波檢測器的特征在于，

所述第1電磁波傳感器的受光部具有平坦的整面反射膜，

所述第2電磁波傳感器的受光部具有檢測預定波長區域或者預定偏振的光的電磁波吸收體，

所述第1電磁波傳感器具有包含反射膜的受光部以及電磁波直接入射的支撐腳，所述第1電磁波傳感器的支撐腳產生與由在所述第2電磁波傳感器的支撐腳吸收的電磁波引起的傳感器輸出相等的輸出，

輸出所述第2電磁波傳感器的輸出與所述第1電磁波傳感器的輸出的差分。

2.根據權利要求1所述的電磁波檢測器，其特征在于，

第1電磁波傳感器的支撐腳以及第2電磁波傳感器的支撐腳的表面露出。

3.根據權利要求1所述的電磁波檢測器，其特征在于，

所述電磁波檢測器還具備第3電磁波傳感器，該第3電磁波傳感器具有通過與第1電磁波傳感器的支撐腳相同構造的支撐腳被中空保持于所述基板上的受光部，所述第3電磁波傳感器與所述第1電磁波傳感器或者第2電磁波傳感器鄰接設置，

所述第3電磁波傳感器的受光部具有檢測與所述第2電磁波傳感器的電磁波吸收體所檢測的光的波長區域或者偏振不同的波長區域或者偏振的光的電磁波吸收體，輸出所述第3電磁波傳感器的輸出與所述第1電磁波傳感器的輸出的差分。

4.根據權利要求1～3中的任意一項所述的電磁波檢測器，其特征在于，

支撐腳包括熱電偶。

5.根據權利要求3所述的電磁波檢測器，其特征在于，

第1電磁波傳感器的輸出與第2電磁波傳感器的輸出被電連接為從所述第2電磁波傳感器的輸出減去所述第1電磁波傳感器的輸出，

所述第1電磁波傳感器的輸出與第3電磁波傳感器的輸出被電連接為從所述第3電磁波傳感器的輸出減去所述第1電磁波傳感器的輸出，

使所述第1電磁波傳感器與所述第2電磁波傳感器的連接部以及所述第1電磁波傳感器與所述第3電磁波傳感器的連接部通用化。

6.根據權利要求1～3中的任意一項所述的電磁波檢測器，其特征在于，

電磁波吸收體是金屬膜的單層構造或者金屬膜和電介體的多層膜構造。

7.根據權利要求1～3中的任意一項所述的電磁波檢測器，其特征在于，

電磁波吸收體具有陣列狀地配置于表面的周期構造以感應出使特定波長與表面耦合的表面等離子激元，使特定波長的入射光的吸收量大于所述特定波長以外的入射光的吸收量。

8.根據權利要求1、2、3和5中的任意一項所述的電磁波檢測器，其特征在于，

第1電磁波傳感器的反射膜反射由第2電磁波傳感器的電磁波吸收體檢測的光的波長區域所包含的特定波長以外的波長的光。

9.根據權利要求1、2、3和5中的任意一項所述的電磁波檢測器，其特征在于，

第1電磁波傳感器的反射膜是比熱大的材料。