[實用新型]一種光源設備夾持器

有效

• 申請號: 201621462528.1
• 申請日: 2016-12-29
• 公開（公告）號: CN206398656U
• 公開（公告）日: 2017-08-11
• 發明（設計）人: 周國瑞;劉青安;馬志強;苗心向;呂海兵;牛龍飛;丁文東;劉昊;李可欣;鄒睿;周海;袁曉東
• 申請（專利權）人: 中國工程物理研究院激光聚變研究中心
• 主分類號: F21V21/10
• 分類號: F21V21/10
• 代理公司: 北京遠大卓悅知識產權代理事務所(普通合伙)11369
• 代理人: 鄭健

技術領域

本實用新型涉及一種固定裝置。更具體地說，本實用新型涉及一種用在暗場成像所需光源設備的夾持固定裝置。

背景技術

在精密光學元件的使用過程中，由于空氣中灰塵沉降等原因導致光學元件表面沉積顆粒物污染。光學元件表面顆粒污染在激光的作用下易導致在元件表面形成缺陷，因此需對元件表面的顆粒污染物定期清潔，保持元件表面潔凈度等級。元件表面的顆粒物檢測為光學元件的潔凈等級的維持提供便利。目前國內外基于機器視覺的表面顆粒物檢測系統主要圍繞光散射理論設計。當光源產生的光線以一定角度斜入射到光學元件上，元件表面存在顆粒時，導致紋理產生凹凸變化，光線照射在顆粒上會產生散射效應。針對大口徑的元件表面顆粒物測量方式一般分為兩步，首先使用顆粒收集裝置收集元件表面顆粒，然后將收集的顆粒置于顯微鏡下，統計顆粒的數量分布，尚無在線顆粒物檢測方式。本實用新型為在線顆粒物檢測系統的光源系統組成。由于精密光學元件一般處于高度潔凈環境中，光學元件同時位于所屬光機系統的運行光路中，為使檢測設備不影響原始光路的運行，采用側照明方式，光源位于光學元件的兩側，對稱照射元件表面。為使光學元件得到均勻光照輻射，較好的照明效果，得到顆粒物的暗場成像，本實用新型設計了針對線光源的夾持器，以便于調整光學元件表面入射光線角度，實現光源的照射角度照射高度靈活調整。

實用新型內容

本實用新型的一個目的是解決至少上述問題和/或缺陷，并提供至少后面將說明的優點。

本實用新型還有一個目的是提供一種光源設備夾持器，通過設置的支撐單元和夾持單元，使光源設備能夠固定于光學元件的表面上，同時設置在支撐單元上的高度調整組件和角度旋轉組件，使得光源設備的出射光線可沿光學元件的表面發生偏轉以及上下移動，實現自由調節和靈活調整，提高了檢測效率和準確率。

為了實現根據本實用新型的這些目的和其它優點，提供了一種光源設備夾持器，其特征在于，包括：

一與光學元件相配合的夾持單元；

一設置于所述夾持單元一端、且與光源設備相配合的支撐單元；

其中，與所述光源設備可拆卸連接設置有一連接機構，所述支撐單元的自由端設置有一角度旋轉組件，其與所述連接機構相配合，以使光源設備的出射光可沿光學元件表面發生預定的角度偏轉。

優選的是，其中，所述夾持單元包括一第一U型槽，以及固接設置于其一端的環狀支撐桿。

優選的是，其中，所述光源設備上設置有一卡槽，所述連接機構包括與所述卡槽相配合的第二U型槽，以及固接設置于其一面上的圓環狀突出部。

優選的是，其中，所述支撐單元上還包括有一高度調節組件，其為圓柱形桿，所述圓柱形桿一端被設置成截面為實心圓的實心圓端，另一端截面為圓環的圓環端；

其中，所述實心圓端與所述環狀支撐桿相配合設置、且與環狀支撐桿以第一鎖緊組件可拆卸式連接。

優選的是，其中，所述角度旋轉組件被設置為T字型結構；

其中，所述T字型結構的一端與所述高度調節組件的圓環端相配合設置、以第二鎖緊組件可拆卸式連接，所述T字型結構的另一端與圓環狀突出部相配合設置、且以第三鎖緊組件可拆卸式連接。

優選的是，其中，所述第一鎖緊組件被設置為螺栓和與其相配合的螺孔；

其中，所述螺孔被設置在支撐單元的環狀支撐桿上。

優選的是，其中，在所述圓柱形桿的實心圓端上、其與第一鎖緊組件中螺栓的接觸面被設置為內凹平面。

優選的是，其中，所述第二鎖緊組件為兩個相對設置于高度調節組件圓環端的螺紋孔和與其相配合的螺栓。

優選的是，其中，所述第三鎖緊組件為設置在圓環狀突出部上的螺紋孔和與其相配合的螺栓。

優選的是，其中，所述夾持器被設置為兩個。

本實用新型至少包括以下有益效果：

其一，對光源設備在光學元件兩側邊框具有較好的固定作用，使其在光學元件兩側平行發光，將光學元件表面上的沉積顆粒污染物清晰的顯現出來。

其二，設置的高度調節組件和角度旋轉調節組件使光源設備發出的光線，具有多個入射高度和角度的調節范圍，光學元件的表面得到均勻的光照輻射，提高了檢測的效率和精確度。

本實用新型的其它優點、目標和特征將部分通過下面的說明體現，部分還將通過對本實用新型的研究和實踐而為本領域的技術人員所理解。

附圖說明

圖1為本實用新型的一種線光源夾持器的整體結構示意圖；

圖2為本實用新型的一種線光源夾持器的正視圖；