[實用新型]基于瑞利波模式的聲表面波雙諧振器一體化扭矩傳感器

有效

• 申請號: 201621157727.1
• 申請日: 2016-10-25
• 公開（公告）號: CN206223334U
• 公開（公告）日: 2017-06-06
• 發明（設計）人: 齊紅麗;吉小軍;陳奕;王躍武;吳承勇;倪晉權
• 申請（專利權）人: 中國船舶重工集團公司第七0四研究所
• 主分類號: G01L3/02
• 分類號: G01L3/02
• 代理公司: 上海申匯專利代理有限公司31001
• 代理人: 吳寶根

1.一種基于瑞利波模式的聲表面波雙諧振器一體化扭矩傳感器，其特征在于，包括轉軸彈性體和閱讀器，轉軸彈性體表面上固定有長方形石英基片，石英基片上通過IC工藝一次制作有兩個正交放置的聲表面波諧振器，聲表面波諧振器諧振的方向分別與石英晶軸X對稱成±45°，兩個聲表面波諧振器的IDT的兩個上下電極分別通過匯流金屬排連接，構成并聯差分結構，轉軸彈性體粘貼測量時通過工藝保障石英基片長邊與轉軸軸線平行，兩個聲表面波諧振器通過天線接收激勵信號和發射諧振器的響應信號，被測轉軸附近的閱讀器發射激勵信號和接收諧振器的回波信號，實現對扭矩的實時測量。

2.根據權利要求1所述基于瑞利波模式的聲表面波雙諧振器一體化扭矩傳感器，其特征在于，所述匯流金屬排通過硅鋁絲與天線相連以接收激勵信號和發射諧振器的響應信號。

3.根據權利要求1或2所述基于瑞利波模式的聲表面波雙諧振器一體化扭矩傳感器，其特征在于，所述聲表面波諧振器采用單端對的諧振器結構。

4.根據權利要求3所述基于瑞利波模式的聲表面波雙諧振器一體化扭矩傳感器，其特征在于，所述兩個聲表面波諧振器的中心頻率分別為433MHz和438MHz。