[實用新型]一種自動調節的斜入射光路

有效

• 申請號: 201620992982.1
• 申請日: 2016-08-30
• 公開（公告）號: CN206161944U
• 公開（公告）日: 2017-05-10
• 發明（設計）人: 陳魯;劉虹遙;張朝前;楊樂;馬硯忠;路鑫超
• 申請（專利權）人: 中國科學院嘉興微電子儀器與設備工程中心
• 主分類號: G02B7/182
• 分類號: G02B7/182;G05D3/12
• 代理公司: 北京華沛德權律師事務所11302
• 代理人: 房德權

1.一種自動調節的斜入射光路，其特征在于，所述光路包括：

激光器，所述激光器發出光束；

第一反射鏡，所述第一反射鏡改變所述光束的傳播方向，使所述光束斜入射至樣品臺表面；所述第一反射鏡由電動旋轉鏡架控制旋轉角度；

第二反射鏡，所述第二反射鏡改變經所述樣品臺反射出的光束的傳播方向；

分束器，經所述第二反射鏡反射后的光束入射至所述分束器中；所述分束器將所述光束分為第一光束和第二光束；

位置探測器，所述第一光束入射至所述位置探測器中；所述位置探測器探測得到第二子坐標系中光束中心位置；

控制單元，所述控制單元獲取所述第二子坐標系中光束中心位置；所述控制單元根據所述第二子坐標系中光束中心位置計算得出第一子坐標系中光束中心位置；所述控制單元根據所述第一子坐標系中光束中心位置計算得到所述第一反射鏡需要調整的角度；所述控制單元將所述需要調整的角度通過發布指令傳遞給所述電動旋轉鏡架，從而調整所述第一反射鏡的旋轉角度。

2.如權利要求1所述的自動調節的斜入射光路，其特征在于，所述光路還包括：

光阱，所述第二光束入射至所述光阱中。

3.如權利要求1所述的自動調節的斜入射光路，其特征在于，所述第一光束的強度小于所述第二光束的強度。

4.如權利要求1所述的自動調節的斜入射光路，其特征在于，所述第二反射鏡和所述分束器之間還設置有第一透鏡，所述第一透鏡對經第二反射鏡反射后的光束進行會聚。

5.如權利要求1所述的自動調節的斜入射光路，其特征在于，所述激光器和所述第一反射鏡之間還設置有第三反射鏡，所述第三反射鏡改變所述光束的傳播方向。

6.如權利要求5所述的自動調節的斜入射光路，其特征在于，所述第三反射鏡為多個。

7.如權利要求1所述的自動調節的斜入射光路，其特征在于，所述激光器和所述第一反射鏡之間還設置有第一光學元件，所述第一光學元件對光束進行擴束和/或整形。

8.如權利要求7所述的自動調節的斜入射光路，其特征在于，所述第一光學元件為第一透鏡組。

9.如權利要求1所述的自動調節的斜入射光路，其特征在于，所述激光器和所述第一反射鏡之間還設置有第二光學元件，所述第二光學元件對光束進行會聚。

10.如權利要求9所述的自動調節的斜入射光路，其特征在于，所述第二光學元件為第二透鏡。