[實用新型]用于有機廢氣等離子體處理裝置中的高頻電源電路有效
| 申請號： | 201620939473.2 | 申請日： | 2016-08-25 |
| 公開（公告）號： | CN206045750U | 公開（公告）日： | 2017-03-29 |
| 發明（設計）人： | 朱赟;張琦;王康;宗熙敬;孟奕龍 | 申請（專利權）人： | 北京航天環境工程有限公司 |
| 主分類號： | B01D53/32 | 分類號： | B01D53/32 |
| 代理公司： | 暫無信息 | 代理人： | 暫無信息 |
| 地址： | 100074 北京*** | 國省代碼： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 用于 有機 廢氣 等離子體 處理 裝置 中的 高頻 電源 電路 | ||
【權利要求書】：
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