[實用新型]一種氣壓法測量硅片機械強度的裝置有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201620796476.5 | 申請日： | 2016-07-27 |
| 公開（公告）號： | CN205861463U | 公開（公告）日： | 2017-01-04 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 申請（專利權(quán)）人： | ||
| 主分類號： | G01N3/12 | 分類號： | G01N3/12 |
| 代理公司： | 北京集佳知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司11227 | 代理人： | 羅滿 |
| 地址： | 334100 江西*** | 國省代碼： | 江西;36 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 氣壓 測量 硅片 機械 強度 裝置 | ||
【說明書】：
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