[實用新型]用于外延沉積的具有液體分配器的反應(yīng)室和反應(yīng)器有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201620768775.8 | 申請日： | 2016-07-19 |
| 公開（公告）號： | CN206157270U | 公開（公告）日： | 2017-05-10 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 弗朗西斯科·科里亞;溫琴佐·奧格里亞里 | 申請（專利權(quán)）人： | LPE公司 |
| 主分類號： | C30B25/08 | 分類號： | C30B25/08;C30B19/06 |
| 代理公司： | 北京酷愛智慧知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司11514 | 代理人： | 劉謙 |
| 地址： | 意大利米*** | 國省代碼： | 暫無信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 用于 外延 沉積 具有 液體 分配器 反應(yīng) 反應(yīng)器 | ||
1.用于外延沉積反應(yīng)器的反應(yīng)室(1)，包括：外表面(2)，外表面2包括至少一個可被液體冷卻的第一區(qū)域(Z1)和至少一個可被氣體冷卻的第二區(qū)域(Z2)，所述第一區(qū)域(Z1)和所述第二區(qū)域(Z2)被至少一個從所述外表面(2)向外突出的第一屏障(3)分開，其特征在于：包括一個上部分配系統(tǒng)(100)，所述上部分配系統(tǒng)(100)包括一個冷卻劑分配管(110)，所述冷卻劑分配管上有孔(120)，所述孔(120)的形狀至少和第一屏障(3)的形狀部分相似，且位于所述第一屏障(3)和所述外表面(2)的第一區(qū)域(Z1)的附近；上部分配系統(tǒng)(100)設(shè)置成可以制造均勻分布在所述第一區(qū)域(Z1)的冷卻流體的湍流。
2.權(quán)利要求1所述的反應(yīng)室(1)，其特征在于：外表面(2)包括適于被液體冷卻的第一區(qū)域(Z1)、適于被氣體冷卻的第二區(qū)域(Z2)和適于被氣體冷卻的第三區(qū)域(Z3)，所述第二區(qū)域(Z2)和所述第三區(qū)域(Z3)位于所述第一區(qū)域(Z1)相對的兩側(cè)，所述第一區(qū)域(Z1)和所述第二區(qū)域(Z2)被從所述外表面(2)向外突出的第一屏障(3)分開；所述第一區(qū)域(Z1)和所述第三區(qū)域(Z3)被從外表面(2)向外突出的第二屏障(4)分開；包括一個上部分配系統(tǒng)(100)，所述上部分配系統(tǒng)(100)包括一個冷卻劑分配管(110)，所述冷卻劑分配管上有孔(120)，所述孔(120)包括一個第一部分其形狀至少和第一屏障(3)的形狀部分相似，且位于所述第一屏障(3)和所述外表面(2)的第一區(qū)域(Z1)的附近，以及第二部分其形狀至少和所述第二屏障(4)的形狀部分相似，且位于所述第二屏障(4)和所述外表面(2)的第一區(qū)域(Z1)附近；上部分配系統(tǒng)(100)設(shè)置成可以制造均勻分布在所述第一區(qū)域(Z1)的冷卻流體的湍流。
3.權(quán)利要求1所述的反應(yīng)室(1)，其特征在于：所述第一屏障(3)全體或部分彎曲。
4.權(quán)利要求2所述的反應(yīng)室(1)，其特征在于：所述第二屏障(4)全體或部分彎曲。
5.權(quán)利要求1或2或3或4所述的反應(yīng)室(1)，其特征在于：所述冷卻劑分配管(110)包括多個機械地連接、彼此相互連通的部分。
6.權(quán)利要求1或2或3或4所述的反應(yīng)室(1)，其特征在于：所述冷卻劑分配管(110)包括多個朝向所述外表面(2)的孔。
7.權(quán)利要求1或2或3或4所述的反應(yīng)室(1)，其特征在于：所述冷卻劑分配管(110)包括多個方向平行于所述外表面(2)的孔。
8.權(quán)利要求7所述的反應(yīng)室(1)，其特征在于：所述多個方向平行于所述外表面(2)的孔 和定向噴嘴連接。
9.權(quán)利要求1或2或3或4所述的反應(yīng)室(1)，其特征在于：所述冷卻劑分配管(110)具有避開第一區(qū)域(Z1)的子區(qū)域(Z14)的形狀。
10.權(quán)利要求1或2或3或4所述的反應(yīng)室(1)，其特征在于：所述冷卻劑分配管(110)包括至少一個至少部分地跨越第一區(qū)域(Z1)的區(qū)段。
11.權(quán)利要求1或2或3或4所述的反應(yīng)室(1)，其特征在于：所述第一屏障(3)包括一個第一直線端部，一個第二直線端部，以及一個弧形的中間部分。
12.權(quán)利要求2或4所述的反應(yīng)室(1)，其特征在于：所述第二屏障(4)包括一個第一直線端部，一個第二直線端部，以及一個弧形的中間部分。
13.權(quán)利要求2或4所述的反應(yīng)室(1)，其特征在于：所述第一屏障(3)和所述第二屏障(4)在所述外表面(2)上界定了一個冷卻流體的流動通道(Z12、Z13)。
14.權(quán)利要求13所述的反應(yīng)室(1)，其特征在于：所述流動通道(Z12、Z13)結(jié)束于反應(yīng)室(1)兩側(cè)邊(7，8)。
15.一個用于外延沉積的反應(yīng)器(10)，包括至少一個如權(quán)利要求1-14所述的反應(yīng)室(1)。
16.權(quán)利要求15所述的反應(yīng)器(10)，包括一個含有冷卻液的水槽(11)，所述反應(yīng)室(1)的一部分浸入所述水槽(11)的冷卻液中。
17.權(quán)利要求16所述的反應(yīng)器(10)，其特征在于：冷卻液從冷卻劑分配管(110)流入所述水槽(11)。
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