[實用新型]一種基于SOI的三軸電容式微加速度計有效
| 申請號： | 201620679970.3 | 申請日： | 2016-06-29 |
| 公開（公告）號： | CN205720299U | 公開（公告）日： | 2016-11-23 |
| 發明（設計）人： | 戴麗萍;宋文平;夏萬順;許龍來;王姝婭;鐘志親;張國俊 | 申請（專利權）人： | 電子科技大學 |
| 主分類號： | G01P15/125 | 分類號： | G01P15/125;G01P15/18 |
| 代理公司： | 成都弘毅天承知識產權代理有限公司 51230 | 代理人： | 李春芳 |
| 地址： | 611731 四川省成*** | 國省代碼： | 四川;51 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 基于 soi 電容 式微 加速度計 | ||
【說明書】：
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