[實(shí)用新型]基于激光雙外差干涉的位移精密測量系統(tǒng)有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201620669547.5 | 申請日： | 2016-06-29 |
| 公開（公告）號： | CN205785077U | 公開（公告）日： | 2016-12-07 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 王凱;張娟;任志剛;劉卓;劉洋;武宏璋;孫培強(qiáng);肖永生 | 申請（專利權(quán)）人： | 西安計(jì)量技術(shù)研究院 |
| 主分類號： | G01B11/02 | 分類號： | G01B11/02 |
| 代理公司： | 西安弘理專利事務(wù)所61214 | 代理人： | 羅笛 |
| 地址： | 710068 陜*** | 國省代碼： | 陜西;61 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 基于 激光 外差 干涉 位移 精密 測量 系統(tǒng) | ||
【權(quán)利要求書】：
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