[實(shí)用新型]一種晶片拋光系統(tǒng)有效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201620663042.8 | 申請(qǐng)日： | 2016-06-27 |
| 公開(kāi)（公告）號(hào)： | CN205734404U | 公開(kāi)（公告）日： | 2016-11-30 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 張榮鐘;鄧有財(cái);林旭明;林宗民;邱樹(shù)添 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人： | 廈門三安光電有限公司 |
| 主分類號(hào)： | B24B37/04 | 分類號(hào)： | B24B37/04;B24B37/11;B24B37/34;B24B55/02;B24B49/00 |
| 代理公司： | 暫無(wú)信息 | 代理人： | 暫無(wú)信息 |
| 地址： | 361100 福建省廈門市*** | 國(guó)省代碼： | 福建;35 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說(shuō)明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 晶片 拋光 系統(tǒng) | ||
【說(shuō)明書】：
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