[實用新型]一種真空密封件分壓漏率測量裝置有效
| 申請號: | 201620640979.3 | 申請日: | 2016-06-24 |
| 公開(公告)號: | CN205826240U | 公開(公告)日: | 2016-12-21 |
| 發明(設計)人: | 王魁波;張羅莎;吳曉斌;羅艷;陳進新;謝婉露;王宇 | 申請(專利權)人: | 中國科學院光電研究院 |
| 主分類號: | G01M3/26 | 分類號: | G01M3/26 |
| 代理公司: | 北京乾誠五洲知識產權代理有限責任公司11042 | 代理人: | 付曉青;楊玉榮 |
| 地址: | 100094*** | 國省代碼: | 北京;11 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 一種 真空 密封件 分壓漏率 測量 裝置 | ||
【說明書】:
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