[實用新型]雙面曝光機的自動調焦系統有效
| 申請號: | 201620549850.1 | 申請日: | 2016-06-08 |
| 公開(公告)號: | CN206270649U | 公開(公告)日: | 2017-06-20 |
| 發明(設計)人: | 楊文 | 申請(專利權)人: | 江蘇影速光電技術有限公司 |
| 主分類號: | G03F7/20 | 分類號: | G03F7/20;H05K3/00 |
| 代理公司: | 徐州市三聯專利事務所32220 | 代理人: | 周愛芳 |
| 地址: | 221600 江蘇*** | 國省代碼: | 江蘇;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 雙面 曝光 自動 調焦 系統 | ||
技術領域
本實用新型涉及一種雙面曝光機的自動調焦系統。
背景技術
隨著數碼產品的飛速發展,電子市場的對PCB板的要求更加的嚴苛,更高的密度,更小的尺寸。相比于傳統曝光機,激光直寫式曝光機有著更快的曝光速度,更細的線寬,更穩定的生產效率,成為當前PCB板生產的主流設備。目前市場上,大于以單臺面曝光機為主,先進行A面曝光,然后人為翻板后,再進行B面曝光。由于曝光流程的上板,對準,曝光,下板的流程依次進行,操作耗時已經再難以壓縮。
發明內容
針對上述現有技術存在的問題,本實用新型提供一種雙面曝光機的自動調焦系統,采用雙面曝光機,對PCB板進行雙面同時曝光,可以大幅度縮短曝光流程時間,一路光路系統完全固定,另一路光學系統電控調節,滿足不同板厚的PCB板實現雙面同時曝光。
為了實現上述目的,本實用新型采用的技術方案是:一種雙面曝光機的自動調焦系統,從左到右依次為左DMD、左成像鏡筒、左物鏡鏡筒、右物鏡鏡筒、右成像鏡筒和右DMD,PCB板豎直放置于右物鏡鏡筒和左物鏡鏡筒之間,所述的右物鏡鏡筒安裝在微型電動旋轉平臺上,所述的右DMD安裝在微型Z軸電動位移平臺。
PCB板通過位移平臺帶動,實現X-Y二維方向上的掃描曝光。
本實用新型的PCB板豎立放置,一套成像光路在PCB的左邊,且曝光焦面與PCB板的左面重合,相對位置固定不變,另一套成像光路在PCB的右邊,其曝光焦面可以自由調節,以適應不同厚度的板厚。本發明能夠實現PCB板雙面同時曝光,且可以自動調焦,以適應不同的PCB板厚。
附圖說明
圖1是本實用新型的結構示意圖。
圖中:1.左DMD、2.左成像鏡筒、3.左物鏡鏡筒、4.PCB板、5.右物鏡鏡筒、6.微型電動旋轉平臺、7.右成像鏡筒、8.右DMD、9.微型Z軸電動位移平臺。
具體實施方式
下面結合附圖對本實用新型作進一步說明。
如圖1所示,一種雙面曝光機的自動調焦系統,從左到右依次為左DMD1、左成像鏡筒2、左物鏡鏡筒3、右物鏡鏡筒5、右成像鏡筒7和右DMD8,PCB板4豎直放置于右物鏡鏡筒和左物鏡鏡筒3之間,所述的右物鏡鏡筒5安裝在微型電動旋轉平臺6上,所述的右DMD8安裝在微型Z軸電動位移平臺9上。PCB板通過位移平臺帶動,實現X-Y二維方向上的掃描曝光。
本申請將PCB板豎直放置,左右光路分別在PCB板兩側,一組光路固定,另一組光路通過內部電控,實現不同板厚的自動調焦,PCB板通過位移平臺帶動,實現X-Y二維方向上的掃描曝光。右邊光路系統,DMD可以沿光軸進行電控移動,物鏡鏡筒可以進行電控旋轉。當進行不同板厚的PCB板進行曝光時,可以通過電控DMD移動來調節像方工作距,以確保焦面與不同板厚的右面重合,可以通過電控旋轉物鏡鏡筒來微調光學系統的放大倍率。
光學系統中加一些光學鏡片或其他相關器件進行光路修改或補償,均包含于此發明中。以上所述僅為本發明的優選實施例,并不用于限制本發明,盡管參照前述實施例對本發明進行了詳細的說明,對于本領域的技術人員來說,其依然可以對前述實施例中所記載的技術方案進行修改,或者進行等同替換。凡在本實用新型的精神和原則內,所作的任何修改、等同替換、改進等,均應包含在本發明的保護范圍之內。
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