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[實用新型]一種噴淋頭及其等離子體處理裝置有效

專利信息
申請號: 201620468469.2 申請日: 2016-05-19
公開(公告)號: CN206033876U 公開(公告)日: 2017-03-22
發明(設計)人: 劉憶軍;戚艷麗;柴智;王卓 申請(專利權)人: 沈陽拓荊科技有限公司
主分類號: C23C16/455 分類號: C23C16/455
代理公司: 沈陽維特專利商標事務所(普通合伙)21229 代理人: 甄玉荃
地址: 110179 遼寧省*** 國省代碼: 遼寧;21
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摘要:
搜索關鍵詞: 一種 噴淋 及其 等離子體 處理 裝置
【權利要求書】:
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1、專利原文基于中國國家知識產權局專利說明書;

2、支持發明專利 、實用新型專利、外觀設計專利(升級中);

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4、內容包括專利技術的結構示意圖流程工藝圖技術構造圖

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