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[實用新型]一種半導體測試結構有效

專利信息
申請號: 201620195460.9 申請日: 2016-03-14
公開(公告)號: CN205452276U 公開(公告)日: 2016-08-10
發明(設計)人: 神兆旭 申請(專利權)人: 中芯國際集成電路制造(北京)有限公司;中芯國際集成電路制造(上海)有限公司
主分類號: H01L23/544 分類號: H01L23/544
代理公司: 上海光華專利事務所 31219 代理人: 余明偉
地址: 100176 北京市大興區大*** 國省代碼: 北京;11
權利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要:
搜索關鍵詞: 一種 半導體 測試 結構
【說明書】:
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說明:

1、專利原文基于中國國家知識產權局專利說明書;

2、支持發明專利 、實用新型專利、外觀設計專利(升級中);

3、專利數據每周兩次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、內容包括專利技術的結構示意圖、流程工藝圖技術構造圖

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