[實(shí)用新型]一種等離子體化學(xué)氣相沉積裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201620173419.1
• 申請(qǐng)日: 2016-03-07
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN205420545U
• 公開(kāi)（公告）日: 2016-08-03
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 楊曉東;董杰;金哲山;王謙;周東淇;張興洋;胡毓龍;龔勛;高歡
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 北京京東方顯示技術(shù)有限公司;京東方科技集團(tuán)股份有限公司
• 主分類(lèi)號(hào): C23C16/54
• 分類(lèi)號(hào): C23C16/54
• 代理公司: 北京同達(dá)信恒知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11291
• 代理人: 黃志華