[實用新型]還原爐視氫管結構

有效

• 申請號: 201620122268.7
• 申請日: 2016-02-16
• 公開（公告）號: CN205381967U
• 公開（公告）日: 2016-07-13
• 發明（設計）人: 齊林喜;賈海軍
• 申請（專利權）人: 內蒙古盾安光伏科技有限公司
• 主分類號: C01B33/03
• 分類號: C01B33/03
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

技術領域

本實用新型涉及一種管道結構，尤其涉及一種還原爐的視氫管結構。

背景技術

現有的多晶硅生產中，還原爐設置有窺視孔，可以看到內部硅棒生長的情況。還原爐需要氫氣作為原料，氫氣通過視氫管輸送到還原爐內還原三氯氫硅。視氫管道部分環繞還原爐，尾端為一個盲端突出在還原爐外。使用后還原爐清洗過程中，洗滌用的堿液或者清水被高壓沖入視氫管，水和三氯氫硅反應后的水解物容易積存在視氫管盲端，久而久之，會腐蝕整個視氫管。造成氫氣和三氯氫硅的泄露，泄漏物料濃度高的時候產生火花形成爆炸型氣體，造成生產事故。

而且，視氫管整體為弧形彎管，部分環繞爐體，管道更換較為復雜，管道為不銹鋼材質，長期更換成本較高，影響還原爐運行周期。

實用新型內容

本實用新型要解決的技術問題是：提供一種不易積存污染的還原爐視氫管結構。

為達到上述目的，本實用新型提供了如下技術方案：

一種還原爐視氫管結構，包括部分環繞還原爐的管體、用于通入氫氣的氫入口、用于將氫氣通入還原爐的氫通道以及尾端，還包括設置在尾端的可開閉密封件。

與現有技術相比，本實用新型的還原爐視氫管結構的尾端可以開閉，工作時候關閉密封，清洗時候打開尾端，可以將尾端清潔干凈，不容易被污染。

附圖說明

圖1為本實用新型的還原爐視氫管結構示意圖。

圖2為圖1所示的還原爐視氫管結構的管體與可開閉密封件。

圖3為圖2中的可開閉密封件的法蘭和球閥示意圖。

具體實施方式

下面結合圖1至圖3對本實用新型的還原爐視氫管結構進行詳細說明。

圖一為本實用新型的還原爐視氫管結構，視氫管10大致呈弧形，部分環繞在還原爐20上，一端為入氫口，與氫氣源連接。原爐20有與視氫管10連通的通道，可以將氫氣通入還原爐20內還原三氯氫硅。視氫管10內的氫氣通入還原爐20內后，也吹掃在還原爐20的窺視孔玻璃上，起到清潔作用，便于工作人員通過窺視孔觀察內部的晶棒生長情況。

還原爐視氫管結構包括管體11、氫入口13、氫通道15、尾端17及可開閉密封件19。其中管體11呈弧形，部分環繞還原爐20。管體11一段為氫入口13，與氫氣源(圖未示)相連。氫通道15位于管體11中部，用于將氫氣通入還原爐20內。尾端17從管體11延伸，位于還原爐20的外部。

可開閉密封件19包括球閥191和兩個法蘭193，兩個法蘭193用于將球閥191安裝在尾端17，其中一個法蘭193固定在尾端17上，另外一個法蘭193與球閥191固定連接，用螺栓從兩個法蘭193的固定孔上穿過，將球閥191安裝在尾端17上。球閥191可以開閉，將管體11密封或者打開。還原爐20工作時，球閥191關閉，形成密封，氫氣從氫入口13經過管體11內的氫通道15通入還原爐20還原三氯氫硅形成多晶硅。清洗時，停止供應氫氣，將氮氣從氫入口13鼓氣進入，吹掃整個管體11，球閥191打開，氮氣可以從尾端17直接通出，將水解物直接吹出，避免污物堵塞堆積腐蝕。

可以理解，可開閉密封件19不限于上述實施方式的球閥結構，也可以為其他的可開閉的結構，如直接為螺栓安裝的密封蓋等，或者卡合的密封蓋等，通過拆卸的方式實現開閉。

綜上所述，以上僅為本實用新型的較佳實施例而已，不應以此限制本實用新型的范圍。即凡是依本實用新型權利要求書及說明書內容所作的簡單的等效變化與修飾，皆應仍屬本實用新型專利涵蓋的范圍內。