[實用新型]一種微波毫米波直流偏置探針

有效

• 申請號: 201620064574.X
• 申請日: 2016-01-22
• 公開（公告）號: CN205374533U
• 公開（公告）日: 2016-07-06
• 發明（設計）人: 魏碧華;蔡道民
• 申請（專利權）人: 中國電子科技集團公司第十三研究所
• 主分類號: G01R1/073
• 分類號: G01R1/073;G01R31/28
• 代理公司: 石家莊國為知識產權事務所 13120
• 代理人: 王占華

技術領域

本實用新型涉及微波毫米波放大器電路在片測試技術領域。

背景技術

隨著通信和雷達等技術的不斷發展，極大的牽引著微波毫米波技術的發展，尤其是固態微波功率放大器和低噪聲放大器等有源器件的發展，進而帶動了相關產業鏈的發展，比如微波組裝、微波在片測試等領域。

微波毫米波在片測試是微波放大器和低噪聲放大器等有源器件研制和生產的關鍵技術之一，更是制約生產的主要瓶頸所在。通常，微波毫米波芯片在應用之前必須進行測試、篩選，以確保提供給系統的電路是完好的，尤其是對功率合成系統和收發多功能通道來說，數十只甚至上百只功率芯片在同一通道，如果有缺陷，排查將是一個繁重、費時的過程，因此在片測試必須快速、準確和有效，真實表征電路的功能作用。

在片測試是對晶圓級微波毫米波電路進行微波性能自動篩選測試。目前，通用步驟如下：首先把晶圓片放置在探針臺中間，通過真空吸附固定；然后通過微波探針供給微波信號，通過直流探針實現偏置上電；最后利用相關微波儀器測試其相關性能。在這系列條件中，直流加電的偏置探針起到非常關鍵的作用，如果配置不恰當，去耦不良，將導致嚴重后果，比如自激和振蕩，嚴重的會燒毀芯片以及探針等。

目前，常用的直流偏置探針采用屏蔽線供電，其芯為加電線，連接至探針頭，而外層包裹線直接連接探針座，進而接地。由于接地線距離芯片真正的地比較遠，加之工作頻率較高，即使一段較短的電線，其寄生的感性量將可能導致其在低頻或高頻某處振蕩和自激，進而影響測試準確性，更嚴重的是無法正常測試，燒毀芯片和損害探針。為了解決此類問題，常常采用制作排針（探針卡），如CASCADE和GGB公司，即在排針之間，連接去耦電容，目的是縮短與芯片真正的地之間的距離，較少寄生參量，同時輔之合理的去耦電容，避免單探針測試所帶來上述潛在的問題，但是由于排針本身面積較大，加之芯片面積大小、放大器級數以及版圖布局等不同，導致探針卡使用沒有通用性，給測試帶來諸多不便。

針對上述問題，需要一種不僅使用簡單、靈活，通用，而且去耦良好，有效避免自激的微波毫米波用直流偏置探針。

實用新型內容

本實用新型要解決的技術問題是針對上述現有技術的不足，提供一種微波毫米波直流偏置探針，體積小、簡單靈活、通用性好、去耦良好、節省成本、有效消除測試自激和震蕩等潛在問題。

為解決上述技術問題，本實用新型所采取的技術方案是：一種微波毫米波直流偏置探針，其特征在于包括探針、探針座和電容；所述探針設置有2個，分別固定于環氧樹脂基板上，環氧樹脂基板固定安裝于探針座上；探針前端固定有探針前端電容，探針中間部位固定有探針中部電容，探針尾部固定有探針尾部電容，探針前端電容、探針中部電容和探針尾部電容容值大小不同。

作為優選，所述2個探針呈并列排列。

作為優選，所述探針固定在環氧樹脂基板上的方式為焊接，環氧樹脂基板上的2條金屬微帶線分別焊接于2條探針尾部，一根用于直流上電，另一根用于接地。

作為優選，所述2個探針間距可調節，以滿足通用微波毫米波PAD間距要求。

作為優選，所述探針前端電容、探針中部電容和探針尾部電容的容值按照從小到大排列。

作為優選，所述探針前端電容、探針中部電容和探針尾部電容的容值可根據不同測試電路進行微調。

作為優選，所述探針前端電容、探針中部電容和探針尾部電容固定在探針上的方式為焊接。

采用上述技術方案所產生的有益效果在于：本實用新型提供一種微波毫米波直流偏置探針，體積小、簡單靈活、通用性好、去耦良好、節省成本、有效消除測試自激和震蕩等潛在問題。

首先，能有效消除自激和振蕩，通過采用雙直流探針并列排列，雙探針尾部焊接于微型或小型的環氧版上的兩條金屬微帶線上，一探針用于接地，另一探針用于直流加電；在其針前端和中間部位焊接不同容值的電容，在其尾部焊接大容值去耦電容，縮減了到芯片真正地之間的距離，進而降低寄生參量影響，消除自激和振蕩。

其次，通用性好，兩探針之間的距離可以根據實際需要，進行不同程度的微調，匹配滿足通用芯片焊盤間距，涵蓋大多數微波毫米波電路測試。

再次，體積小，使用靈活，由于只采用兩探針并列，相比于探針卡，不僅體積小，而且移動和使用方便；

最后，節省成本，本探針僅比單探針多用了一根探針和幾只去耦電容，相比于排針和探針卡制作，費用大大降低。

附圖說明

圖1是本實用新型的結構示意圖；