[實用新型]焊接式濺射管靶

有效

• 申請號: 201620059792.4
• 申請日: 2016-01-21
• 公開（公告）號: CN205347565U
• 公開（公告）日: 2016-06-29
• 發明（設計）人: 陳俊杰;方家芳;馬丹萍
• 申請（專利權）人: 昆山全亞冠環保科技有限公司
• 主分類號: C23C14/34
• 分類號: C23C14/34;C23C14/56
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

技術領域

本實用新型涉及濺射靶材技術領域，特別涉及一種焊接式濺射管靶。

背景技術

濺射是制備薄膜材料的主要技術之一，它利用離子源產生的離子，在真空中經過加速聚集，而形成高速度能的離子束流，轟擊固體表面，離子和固體表面原子發生動能交換，使固體表面的原子離開固體并沉積在基底表面，被轟擊的固體是用濺射法沉積薄膜的原材料，稱為濺射靶材。各種類型的濺射薄膜材料無論在半導體集成電路、記錄介質、平面顯示以及工件表面涂層等方面都得到了廣泛的應用。

管靶(旋轉靶)是一種具有管型結構的靶材，其外側面為離子轟擊表面。部分濺射鍍膜的管靶是通過一體成型而成，但由于濺射時工作環境惡劣，對靶材端頭的強度要求較高，若靶材端頭強度較低，則可能導致靶材端部開裂，變形，與機臺連接處漏水，泄真空等狀況。還有部分管靶是通過整支靶材1套在整支背管2上焊接在一起的(如圖1)，背管2采用強度較高的材料制成，可重復使用；但這種拼接方式焊料4要填充于靶材1與背管2之間的很大范圍，焊接深度大，在實際焊接的過程中很難擴散，焊合率低下，繼而造成管靶散熱性能不佳的問題。

因此，有必要提供一種新的濺射管靶結構來解決上述問題。

實用新型內容

本實用新型的主要目的在于提供一種可澆鑄各種規格鑄錠的焊接式濺射管靶。

本實用新型通過如下技術方案實現上述目的：一種焊接式濺射管靶，包括互相焊接的靶材和背管，所述靶材外徑大于所述背管，所述靶材一端設有具有底壁和側壁的沉孔，所述底壁與背管的端面之間通過耐高溫膠貼合，所述側壁與背管的外壁之間縫隙通過焊料填充。

具體的，所述底壁呈凸錐面，所述背管的端面呈凹錐面，所述凸錐面與凹錐面的錐度相同。

具體的，所述沉孔的側壁與背管的外壁上設有相互配合的溝槽結構。

進一步的，所述沉孔的深度為3-5cm。

具體的，所述耐高溫膠為硅膠。

具體的，所述焊料為熔點小于250℃的金屬或合金焊料。

進一步的，所述焊料為銦、錫或錫鋅合金。

采用上述技術方案，本實用新型技術方案的有益效果是：

1、本實用新型縮小了背管的結構，使靶材與背管接合深度減小，焊合率高，保證了散熱性能；

2、底壁與背管采用錐面配合，能自動調整同心度，位置精度高；

3、沉孔側壁與背管外壁上的溝槽結構可以增加焊合面積，提高靶材與背管的連接強度；

4、沉孔深度小，加工方便；

5、低熔點焊料焊接和解焊耗能低，方便背管重復利用。

附圖說明

圖1為現有技術中焊接式管靶的剖視圖；

圖2為本實用新型焊接式濺射管靶的剖視圖；

圖3為實施例1情況下，靶材的主剖視圖；

圖4為實施例1情況下，背管的主剖視圖；

圖5為實施例2情況下，圖2中的A-A剖面圖。

圖中數字表示：

1-靶材，11-沉孔，111-底壁，112-側壁；

2-背管，21-端面，22-外壁；

3-耐高溫膠；

4-焊料。

具體實施方式

下面結合具體實施例對本實用新型作進一步詳細說明。

實施例1

如圖2至圖4所示，一種焊接式濺射管靶，包括互相焊接的靶材1和背管2，靶材1外徑大于背管2，靶材1一端設有深度為3-5cm的沉孔11，沉孔11具有底壁111和側壁112，底壁111與背管2的端面21之間通過耐高溫膠3貼合，側壁112與背管2的外壁22之間縫隙通過焊料4填充。這樣背管2不用做成與靶材1長度相當的管狀結構，使靶材1與背管2接合深度減小，這樣焊料4容易滲透到靶材1與背管2兩者的空隙之間，避免了孔洞的出現，所以焊合率高；而且靶材1的主體部分內外散熱不需要通過焊料4區域，因而保證了散熱性能。

焊接前，先將沉孔11的底壁111和側壁112與背管2相應位置進行噴砂粗化處理；然后，在沉孔11側壁112與背管2外壁22上的焊合面上分別出涂上一層低熔點的焊料4，沉孔11的底壁111上涂膜耐高溫膠3，并套入背管2，背管2的端面21就會接觸到耐高溫膠3；通過加熱令耐高溫膠3連接靶材1和背管2；最后在沉孔11側壁112與背管2外壁22之間的空隙內灌入焊料4，軟焊冷卻令靶材1與背管2完全結合。