[實用新型]晶片快速拋光裝置有效
| 申請號： | 201620059744.5 | 申請日： | 2016-01-21 |
| 公開（公告）號： | CN205497195U | 公開（公告）日： | 2016-08-24 |
| 發明（設計）人： | 夏秋良 | 申請（專利權）人： | 蘇州新美光納米科技有限公司 |
| 主分類號： | B24B37/08 | 分類號： | B24B37/08;B24B37/34 |
| 代理公司： | 無錫市大為專利商標事務所(普通合伙) 32104 | 代理人： | 曹祖良;張濤 |
| 地址： | 215123 江蘇省蘇州市蘇州工*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 晶片 快速 拋光 裝置 | ||
【說明書】：
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