[實用新型]一種等離子風冷卻裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201620037282.7
• 申請日: 2016-01-15
• 公開（公告）號: CN205335244U
• 公開（公告）日: 2016-06-22
• 發(fā)明（設計）人: 王長宏;謝澤濤;馮杰
• 申請（專利權）人: 廣東工業(yè)大學
• 主分類號: H01L23/367
• 分類號: H01L23/367;H01L23/467;H01T19/04
• 代理公司: 北京科億知識產(chǎn)權代理事務所(普通合伙) 11350
• 代理人: 趙蕊紅

1.一種等離子風冷卻裝置，其特征在于：設置有發(fā)射電極、集電極和絕緣性質(zhì)的基體； 所述集電極和所述發(fā)射電極均固定于所述基體，所述集電極設置為具有多個通孔的平板形 電極，所述集電極與所述基體之間的夾角A的范圍為60°~70°；所述發(fā)射電極的固定于所述 基體的一端與所述集電極之間加設有高壓直流電源，所述集電極的固定于所述基體的一端 接地。

2.根據(jù)權利要求1所述的等離子風冷卻裝置，其特征在于：以所述發(fā)射電極的與所述基 體連接的端部命名為始端，以所述發(fā)射電極的靠近所述集電極的端部命名為末端，所述發(fā) 射電極的靠近所述集電極的最后一段命名為末段，所述發(fā)射電極的末段與所述集電極所在 的平面垂直，所述發(fā)射電極的末端距離所述集電極之間的距離為0.5~15毫米。

3.根據(jù)權利要求2所述的等離子風冷卻裝置，其特征在于：過所述發(fā)射電極末段的中軸 線的截面命名為中截面，末端在中截面上對應的點的曲率半徑為10~15微米。

4.根據(jù)權利要求2所述的等離子風冷卻裝置，其特征在于：還設置有絕緣性的凸臺，所 述凸臺固定于所述基體，所述發(fā)射電極的始端固定于所述凸臺。

5.根據(jù)權利要求1至4任意一項所述的等離子風冷卻裝置，其特征在于：所述發(fā)射電極 和所述集電極表面均鍍有抗氧化防腐蝕的保護層。

6.根據(jù)權利要求5所述的等離子風冷卻裝置，其特征在于：所述發(fā)射電極為鋁、鈦、鎳、 鎢或者銅發(fā)射電極，所述集電極為鋁、鈦、鎳、鎢、銅或者碳納米管集電極。

7.根據(jù)權利要求1所述的等離子風冷卻裝置，其特征在于：所述發(fā)射電極和所述集電極 分別通過耐高溫絕熱膠固定于所述基體。

8.根據(jù)權利要求1所述的等離子風冷卻裝置，其特征在于：所述基體為玻璃晶片。

9.根據(jù)權利要求5所述的等離子風冷卻裝置，其特征在于：所述通孔設置為方形或者圓 形。

10.根據(jù)權利要求9所述的等離子風冷卻裝置，其特征在于：所述通孔呈矩陣結構排列。