[實用新型]用于硅片清洗設備的過濾器有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201620033515.6 | 申請日： | 2016-01-14 |
| 公開（公告）號： | CN205340279U | 公開（公告）日： | 2016-06-29 |
| 發(fā)明（設計）人： | 曹四輝 | 申請（專利權）人： | 常州天合光能有限公司;湖北天合光能有限公司 |
| 主分類號： | B01D29/33 | 分類號： | B01D29/33 |
| 代理公司： | 浙江永鼎律師事務所 33233 | 代理人： | 郭小麗 |
| 地址： | 213031 江蘇省常*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 用于 硅片 清洗 設備 過濾器 | ||
【權利要求書】：
1.一種用于硅片清洗設備的過濾器，其特征在于：包括罩設于主槽體（100）溢流口處的本體（1），該本體（1）內形成連通溢流口的引水腔，本體（1）的頂面和側面上均設有連通引水腔的過濾孔（11），本體（1）具有連接主槽體（100）的底部。
2.根據權利要求1所述的用于硅片清洗設備的過濾器，其特征在于：所述本體（1）呈圓柱形。
3.根據權利要求1所述的用于硅片清洗設備的過濾器，其特征在于：所述過濾孔（11）為直徑4cm的圓形孔。
4.根據權利要求1所述的用于硅片清洗設備的過濾器，其特征在于：所述本體（1）與主槽體（100）頂部的傳動滾輪之間的距離為5cm。
5.根據權利要求1所述的用于硅片清洗設備的過濾器，其特征在于：所述本體（1）底部焊接于主槽體（100）內。
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