[實用新型]集成電路裝置有效
| 申請號： | 201620024133.7 | 申請日： | 2016-01-11 |
| 公開（公告）號： | CN205752158U | 公開（公告）日： | 2016-11-30 |
| 發明（設計）人： | E·F·希歐多爾;I·C·邁克爾 | 申請（專利權）人： | 硅源公司 |
| 主分類號： | H01L23/52 | 分類號： | H01L23/52;H01L21/768 |
| 代理公司： | 北京鴻元知識產權代理有限公司 11327 | 代理人： | 李琳;許向彤 |
| 地址： | 美國加利*** | 國省代碼： | 美國;US |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 集成電路 裝置 | ||
【說明書】：
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