[發明專利]一種雙探針飛針測試裝置的校準方法

有效

• 申請號: 201611270453.1
• 申請日: 2016-12-30
• 公開（公告）號: CN106771979B
• 公開（公告）日: 2019-07-02
• 發明（設計）人: 趙凌云;楊連衛
• 申請（專利權）人: 南京協辰電子科技有限公司
• 主分類號: G01R31/28
• 分類號: G01R31/28;G01R35/00
• 代理公司: 北京三聚陽光知識產權代理有限公司 11250
• 代理人: 吳黎

1.一種雙探針飛針測試裝置的校準方法，其特征在于，所述飛針測試裝置包括安裝在同一探頭上的攝像單元和所述雙探針，所述雙探針包括固定探針和可調節與所述固定探針距離的移動探針，所述探頭可圍繞其旋轉軸自轉和在X-Y軸上平移，所述校準方法包括：

獲取所述固定探針當所述探頭從其旋轉軸的原點開始自轉0度時的第一坐標、自轉90度時的第二坐標、和自轉180度的第三坐標；

獲取所述移動探針當其距離所述固定探針初始距離時的第四坐標以及當其距離所述固定探針預設距離時的第五坐標；

獲取所述攝像單元的坐標；

根據所述第一、第二、第三、第四、第五坐標和所述攝像單元的坐標，獲取當所述固定探針和所述移動探針的距離為第一距離、所述固定探針和所述移動探針的連線與所述X軸夾角為第一角度時，所述固定探針到所述攝像單元的距離；

根據所述固定探針到所述攝像單元的距離對所述雙探針飛針測試裝置進行校準。

2.根據權利要求1所述的方法，其特征在于，所述獲取所述固定探針當所述探頭從其旋轉軸的原點開始自轉0度時的第一坐標、自轉90度時的第二坐標、自轉180度的第三坐標包括：

當所述探頭從其旋轉軸的原點開始自轉0度時，移動所述探頭使所述固定探針對準校準零點，獲取所述第一坐標；

當所述探頭從其旋轉軸的原點開始自轉90度時，移動所述探頭使所述固定探針對準所述校準零點，獲取所述第二坐標；

當所述探頭從其旋轉軸的原點開始自轉180度時，移動所述探頭使所述固定探針對準所述校準零點，獲取所述第三坐標。

3.根據權利要求1所述的方法，其特征在于，所述獲取所述移動探針當其距離所述固定探針初始距離時的第四坐標以及當其距離所述固定探針預設距離時的第五坐標包括：

旋轉所述探頭到其旋轉軸的原點；

移動所述移動探針使所述移動探針距離所述固定探針所述初始距離；

移動所述探頭使所述移動探針對準校準零點，獲取所述第四坐標；

移動所述移動探針使所述移動探針距離所述固定探針所述預設距離；

移動所述探頭使所述移動探針對準所述校準零點，獲取所述第五坐標；

所述獲取所述攝像單元的坐標包括：

移動所述探頭使所述攝像單元的中心對準所述校準零點，獲取所述攝像單元的坐標。

4.根據權利要求1-3中任一項所述的方法，其特征在于，所述根據所述第一、第二、第三、第四、第五坐標和所述攝像單元的坐標，獲取當所述固定探針和所述移動探針的距離為第一距離、所述固定探針和所述移動探針的連線與所述X軸夾角為第一角度時，所述固定探針到所述攝像單元的距離包括：

根據所述第一、第二和第三坐標獲取所述固定探針的旋轉半徑和旋轉圓心坐標；

根據所述第一、第四和第五坐標獲取所述第一坐標在連接所述第四坐標和第五坐標的直線上的投影坐標；

根據所述第一坐標和所述投影坐標獲取所述第一坐標到所述連接所述第四坐標和第五坐標的直線的第二距離；

根據所述第一距離和所述第二距離，獲取當所述移動探針和所述固定探針的距離為所述第一距離時，所述移動探針到所述投影坐標的第三距離；

根據所述第五坐標、所述投影坐標和所述第三距離，獲取當所述移動探針和所述固定探針的距離為所述第一距離時，所述移動探針的第六坐標，以及所述移動探針從其距離所述固定探針所述初始距離的位置開始需要移動的第四距離；

根據所述第一坐標和所述旋轉圓心坐標，獲取所述第一坐標與所述旋轉圓心坐標所成角度；

根據所述第六坐標和所述旋轉圓心坐標，獲取所述第六坐標和所述旋轉圓心坐標所成角度；

根據所述第六坐標和所述第一坐標，獲取所述第六坐標和所述第一坐標所成角度；

根據所述第六坐標和所述第一坐標所成的角度和所述第一角度，獲取當所述固定探針和所述移動探針的連線與所述X軸夾角為第一角度時，所述探頭從其旋轉軸的原點開始需要旋轉的第二角度；

根據所述旋轉圓心坐標、所述旋轉半徑、所述第一坐標和所述第二坐標所成的角度、以及所述第二角度，獲取當所述固定探針和所述移動探針的距離為第一距離、所述固定探針和所述移動探針的連線與所述X軸夾角為第一角度時，所述固定探針的第七坐標；

根據所述攝像單元的坐標和所述第七坐標，獲取當所述固定探針和所述移動探針的距離為第一距離、所述固定探針和所述移動探針的連線與所述X軸夾角為第一角度時，所述固定探針到所述攝像單元的距離。