[發明專利]TFT玻璃基板薄化工藝預處理劑

有效

• 申請號: 201611268688.7
• 申請日: 2016-12-31
• 公開（公告）號: CN106587649B
• 公開（公告）日: 2019-03-22
• 發明（設計）人: 龐綺琪
• 申請（專利權）人: 深圳邁遼技術轉移中心有限公司
• 主分類號: C03C15/00
• 分類號: C03C15/00
• 代理公司: 深圳市蘭鋒知識產權代理事務所(普通合伙) 44419
• 代理人: 曹明蘭

技術領域

本發明涉及用于TFT玻璃基板蝕刻預處理的組合物。

背景技術

在因制作超薄TFT(Thin Film Transistor，薄膜晶體管)顯示屏需要對TFT顯示屏玻璃基板進行薄化處理時，需要對現有規格玻璃基板進行薄化處理，而當前普遍采用的氫氟酸蝕刻薄化方法在薄化處理后玻璃基板表明往往會出現局部過蝕產生的凹坑，需要再對基板表明進行長時間的拋光處理，嚴重影響了生產效率，提高了加工成本。為了減少薄化處理出現的凹坑，需要在薄化處理前對TFT液晶屏的玻璃基板(簡稱TFT玻璃)進行預處理，中國專利CN 103951270B公開了一種對TFT玻璃進行薄化預處理的方法，采用90-95％、3-5％、2-5％的濃硫酸、濃鹽酸以及氫氟酸的混合酸液；對TFT玻璃基板進行預處理。該方法雖然可以實現一定的減少薄化后玻璃基板凹坑的效果，但預處理的混合酸中加入了大量的濃硫酸，預處理工序后產生的廢液難于進行處理。因此提供一種新的TFT玻璃薄化預處理用產品，在提高處理效果的基礎上降低污染排放，成為現有技術中亟待解決的問題。

發明內容

為解決前述技術問題，本發明提供了TFT玻璃基板薄化工藝預處理劑及其處理工藝，通過優化預處理劑的處方和處理工藝，成功的實現了避免了濃硫酸等造成嚴重污染且難于處理的原材料的使用。

本發明提供了TFT玻璃基板薄化工藝預處理劑，其特征在于所述預處理劑由以下組分組成：

質量百分比含量8～12％的鹽酸(HCl)，質量百分比含量3-5％的硝酸，質量百分比含量2％～5％的氫氟酸(HF)，質量百分含量0.1～0.2％的氯化鈣，質量百分比含量1～2％的羥丙基甲基纖維素(HPMC)，質量百分比含量0.5～1％的結冷膠，及余量的水。

所述的TFT玻璃基板薄化工藝預處理劑，其特征在于以如下方法配制，

1)將處方量鹽酸、硝酸與氫氟酸混合，并加入適量水稀釋后，加入處方量的氯化鈣溶解，

2)將處方量的羥丙基甲基纖維素、結冷膠溶于適量水中至完全溶解；

3)將步驟1)得到的混合液緩慢加入步驟2)的混合液中，補足余量的水后攪拌至混合均勻。

在研究中我們發現，采用本發明提供的TFT玻璃基板薄化工藝預處理劑對TFT玻璃基板進行預處理能夠顯著降低薄化工藝后基板表面的凹坑，大大減少再研磨工序的時間，從而在保證了預處理效果的同時，避免了現有技術中采用濃硫酸為主要成分的預處理劑在使用時的不安全性和廢液難于處理的問題。在處方篩選時我們發現，只有選用的優選的組分加入量才能產生較好的預處理效果，尤其是HPMC、結冷膠與氯化鈣的配比，且本發明提供的預處理劑只有在優選的40-45℃條件下，才能產生最佳的處理效果。更進一步的本發明提供的預處理劑，對TFT玻璃基板的CF面和TFT面具有同樣良好的處理效果，可以降低對薄化后玻璃基板的整體研磨時間，進一步提高了預處理效果。

具體實施方式

本發明提供的TFT玻璃基板薄化工藝預處理劑，以如下方法配制，

1)將處方量鹽酸、硝酸與氫氟酸混合，并加入適量水稀釋后，加入處方量的氯化鈣溶解，

2)將處方量的羥丙基甲基纖維素、結冷膠溶于適量水中至完全溶解；

3)將步驟1)得到的混合液緩慢加入步驟2)的混合液中，補足余量的水，后攪拌至混合均勻。

實施例1～4的配方見下表(質量百分比wt％)

本發明中采用的結冷膠符合GB 25535-2010標準

本發明中采用的羥丙基甲基纖維素為安徽山河藥用輔料股份有限公司生產，規格為SHE50。

對實施例1～4得到的預處理劑進行薄化預處理的方法如下

取用原材料為板硝子AN100相同廠家同批次的玻璃基板進行，其厚度為1.000mm，尺寸為730mm×920mm。所采用的蝕刻及拋光設備分別為東莞鴻村蝕刻機和湖南永創拋光機。先在CF面玻璃基板和TFT面玻璃基板四周間隙中滲透UV膠水，再用UV光照固化完成封裝，將封裝完成的玻璃基板用于后續的預處理及薄化工序

預處理方法為

1)配制TFT玻璃基板薄化工藝預處理劑1000L(以下簡稱預處理劑)

2)將預處理劑打入蝕刻機酸槽并將預處理劑溫度控制在40℃～45℃，把作為實驗組樣品的5片完成封裝的玻璃基板(編號為I～V)浸泡在預處理劑中，去除玻璃表面雙層60微米；