[發明專利]基于多光束干涉法制造可變周期光子晶體的裝置有效
| 申請號： | 201611255615.4 | 申請日： | 2016-12-30 |
| 公開（公告）號： | CN106483584B | 公開（公告）日： | 2018-06-05 |
| 發明（設計）人： | 何勇林;爐慶洪;高敏;林國強;楊志林 | 申請（專利權）人： | 廈門大學 |
| 主分類號： | G02B1/00 | 分類號： | G02B1/00;G03F7/20 |
| 代理公司： | 廈門南強之路專利事務所(普通合伙) 35200 | 代理人： | 馬應森;曾權 |
| 地址： | 361005 *** | 國省代碼： | 福建;35 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 光子晶體 凸透鏡 光刻膠板 可變周期 生成元件 多光束 平行光 多光束干涉 空間濾波器 相干光束 激光器 發散光 濾波器 單次曝光 法線方向 干涉區域 所述空間 出光口 多束光 焦點處 光闌 光路 擴束 顯影 制造 照射 激光 | ||
【說明書】：
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