[發明專利]管道固體物去除裝置、管道固體物去除方法、管道體系

有效

• 申請號: 201611242828.3
• 申請日: 2016-12-29
• 公開（公告）號: CN106694486B
• 公開（公告）日: 2019-03-26
• 發明（設計）人: 申勁浩;季云龍;李建興;何寧
• 申請（專利權）人: 成都天馬微電子有限公司;天馬微電子股份有限公司
• 主分類號: B08B9/043
• 分類號: B08B9/043;B08B9/045;B08B9/055
• 代理公司: 北京品源專利代理有限公司 11332
• 代理人: 孟金喆;胡彬

本發明提供一種管道固體物去除裝置、一種基于所述管道固體物去除裝置的管道固體物去除方法以及一種包括該管道固體物去除裝置的管道體系。其中，管道固體物去除裝置包括三通管道，三通管道包括第一路管道，第二路管道以及第三路管道；升降器，升降器設置在與第三路管道延伸方向相反的一端，且升降器通過密封連接件與三通管道連接；連接桿，連接桿位于三通管道的管道內部，且連接桿的一端與升降器連接；去除器，與連接桿的另一端連接且位于三通管道的管道內部，在連接桿與去除器連接的平面上，去除器邊緣上的至少一點到連接桿中心點的距離大于連接桿邊緣任意一點到連接桿中心點的距離，且小于第三路管道內徑的一半。

技術領域

本發明涉及管道技術領域，具體涉及一種管道固體物去除裝置、一種管道固體物去除方法以及一種管道體系。

背景技術

在生產中，為了傳輸氣體或者液體會使用管道，在多路匯集或者分為多路的地方通常會采用多通管道，比較常用的多通管道為三通管道。例如，在生產顯示面板的工藝中，為了刻蝕，腔室左右各有一臺分子泵，其真空管道結構為T字形的三通管道。在生產過程中，三通管道口處由于左右氣流在此交匯，該位置更易生成結晶物，該結晶物附著于管壁上，逐漸堵塞管道，導致氣體排氣不順，設備無法正常使用，因此，必須對結晶物進行疏通。同樣，如果三通管道傳輸的是液體，則在液體匯集處容易形成沉積物，該沉積物附著于管壁上，逐漸堵塞管道，導致液體流通不暢，設備無法正常使用，因此，必須對沉積物進行疏通。但是現有技術中，在疏通時管道時，必須拆卸整套管道，由于管道位于高架地板下方，拆卸疏通工作非常困難。

發明內容

有鑒于此，本發明實施例提供一種一種管道固體物去除裝置、一種管道固體物去除方法以及一種管道體系，以實現對結晶物或者沉積物等固體物質的清除。

為實現上述目的，本發明實施例提供如下技術方案：

首先，本發明提供了一種管道固體物去除裝置，所述管道固體物去除裝置包括：三通管道，所述三通管道包括第一路管道，第二路管道以及第三路管道；升降器，所述升降器設置在與所述第三路管道延伸方向相反的一端，且所述升降器通過密封連接件與所述三通管道連接；連接桿，所述連接桿位于所述三通管道的管道內部，且所述連接桿的一端與所述升降器連接；去除器，與所述連接桿的另一端連接且位于所述三通管道的管道內部，在所述連接桿與所述去除器連接的平面上，所述去除器邊緣上的至少一點到所述連接桿中心點的距離大于所述連接桿邊緣任意一點到所述連接桿中心點的距離，且小于所述第三路管道內徑的一半。

其次，本發明提供了一種管道固體物去除方法：在去除所述固體物之前，給上述管道固體物去除裝置通第一氣壓，所述去除器位于第一高度；需要去除固體物時，給上述管道固體物去除裝置通第二氣壓。

最后，本發明還提供了一種管道體系，包括上述管道固體物去除裝置，以及固體物接收裝置，所述固體物接收裝置與所述第三路管道為可拆卸連接。

本發明實施例提供了管道固體物去除裝置、基于管道固體物去除裝置的管道固體物去除方法、以及包括管道固體物去除裝置的管道體系，由于管道中設置有去除器，去除器在升降器作用下運動，從而去除管道中固體物。本發明提供的道固體物去除裝置、管道固體物去除方法、管道體系，不需要拆卸管道就能夠清除管道交匯處的固體物，從而能夠節約生產時間和生產成本，提高生產效率。

附圖說明

為了更清楚地說明本發明實施例或現有技術中的技術方案，下面將對實施例或現有技術描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅是本發明的實施例，對于本領域普通技術人員來講，在不付出創造性勞動的前提下，還可以根據提供的附圖獲得其他的附圖。

圖1為本發明實施例提供的一種管道固體物去除裝置的結構示意圖；

圖2為本發明實施例提供的管道固體物去除裝置中去除器、連接桿以及管道的俯視結構示意圖；