[發明專利]一種拋光墊修整器的制造方法和制造設備

有效

• 申請號: 201611242132.0
• 申請日: 2016-12-29
• 公開（公告）號: CN106493639B
• 公開（公告）日: 2018-01-19
• 發明（設計）人: 陳銓祥
• 申請（專利權）人: 廈門佳品金剛石工業有限公司
• 主分類號: B24B53/017
• 分類號: B24B53/017;B24B19/02;B24B41/02;B24B41/06;B24B53/07
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種拋光墊修整器的制造方法，其特征在于，包括以下步驟：

(1)采用等靜壓燒結裝置將陶瓷粉等靜壓燒結制成組織均勻致密的陶瓷錠；其中，所述等靜壓燒結裝置包括等靜壓成型機和燒結爐，所述等靜壓成型機將陶瓷粉等靜壓成型，形成陶瓷錠坯料；所述燒結爐將成型后的陶瓷錠坯料再加熱固化得到陶瓷錠；

(2)采用數控平面磨床將陶瓷錠頂部研磨形成具有等高尖角的正四棱錐陣列；其中，所述數控平面磨床采用V型砂輪對陶瓷錠進行研磨，所述數控平面磨床設置有用于修整V型砂輪的在線自動修整機構，所述在線自動修整機構包括一修整座和兩個金剛石磨塊，兩個金剛石磨塊分別通過螺栓對稱固定在修整座的上部，兩個金剛石磨塊的工作面分別設置有一金剛石磨料層，兩個金剛石磨料層之間形成V型夾角；所述數控平面磨床的工作臺上設置有電磁吸盤，所述修整座安裝在電磁吸盤的后部，所述電磁吸盤的上方吸附有用于固定放置陶瓷錠的磁性平板；所述數控平面磨床還設置有用于驅動工作臺左右移動的液壓驅動機構、用于驅動工作臺前后移動的前后電機驅動機構以及用于驅動V型砂輪上下移動的上下電機驅動機構，所述前后電機驅動機構和上下電機驅動機構均采用伺服電機，其進給精度為0.1μm；

其中，研磨的方法包括以下步驟：

(2.1)先利用黏結臘將陶瓷錠固定于磁性平板上，再將帶陶瓷錠的磁性平板以磁力方式固定于數控平面磨床工作臺上的電磁吸盤上，使用V型砂輪對陶瓷錠頂部的表面進行第一方向研磨，形成多條第一方向V型溝槽；其中，任意相鄰的兩條第一方向V型溝槽的相鄰斜面相交于陶瓷錠頂部的表面之下，形成等高的尖頂；

(2.2)將磁性平板旋轉90°，使用V型砂輪對陶瓷錠頂部的表面進行垂直于第一方向的第二方向研磨，形成多條第二方向V型溝槽；其中，任意相鄰的兩條第二方向V型溝槽的相鄰斜面相交于尖頂，形成等高的尖角；垂直交錯的第一方向V型溝槽和第二方向V型溝槽將陶瓷錠頂部分隔形成具有等高尖角的正四棱錐陣列；

其中，步驟(2.1)和步驟(2.2)中的V型砂輪研磨時的槽寬大于槽距，設槽寬為W、研磨深度為D、槽距為P、砂輪夾角為θ，因且W＞P，則

其中，步驟(2.1)和步驟(2.2)中的V型砂輪在研磨時自動加深加工量，以補償V型砂輪在研磨中磨損導致的尺寸變化，保證尖角等高；

其中，根據V型砂輪的磨損情況修整V型砂輪，修整時修整座先隨工作臺向前移動至V型砂輪的正下方，再隨工作臺左右往復移動，同時V型砂輪由高精度伺服電機和數控系統控制沿金剛石磨料層的平面上下移動，首先V型砂輪抵靠后方金剛石磨料層以前低后高的移動方式修整V型砂輪的后方斜面，接著V型砂輪抵靠前方金剛石磨料層以前高后低的移動方式修整V型砂輪的前方斜面，通過分別修整V型砂輪的前方與后方兩斜面，形成夾角為θ的V型砂輪；

(3)采用涂膜裝置將磨好的陶瓷錠尖端表面涂覆金剛石膜，即得到拋光墊修整器。

2.根據權利要求1所述的拋光墊修整器的制造方法，其特征在于：步驟(1)中的陶瓷粉為氮化硅粉、碳化硅粉或碳化鎢粉。

3.根據權利要求1所述的拋光墊修整器的制造方法，其特征在于：步驟(3)中的金剛石膜的厚度為3-20微米。

4.根據權利要求1所述的拋光墊修整器的制造方法，其特征在于：步驟(3)用化學氣相沉積法涂覆金剛石膜。