[發(fā)明專利]一種擋板及包含該擋板的真空干燥機(jī)

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201611241365.9
• 申請(qǐng)日: 2016-12-29
• 公開（公告）號(hào): CN106773169B
• 公開（公告）日: 2019-09-17
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 許可;徐彬
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 武漢華星光電技術(shù)有限公司
• 主分類號(hào): G02F1/13
• 分類號(hào): G02F1/13;G03F7/40
• 代理公司: 深圳市銘粵知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 44304
• 代理人: 孫偉峰

1.一種擋板，其特征在于，包括第一板面和第二板面，所述第一板面與所述第二板面相對(duì)平行設(shè)置，所述擋板的中心區(qū)域設(shè)置有穿過所述第一板面和所述第二板面的孔洞，所述孔洞的截面呈“X”型，所述擋板用于真空干燥機(jī)中。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的擋板，其特征在于，沿所述第一板面的法線方向觀測(cè)，所述擋板呈正四邊形，所述孔洞的兩條對(duì)角線分別沿所述擋板的兩條對(duì)角線方向設(shè)置。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的擋板，其特征在于，所述孔洞的對(duì)稱軸與所述擋板的對(duì)稱軸重合。

4.根據(jù)權(quán)利要求1至3任一項(xiàng)所述的擋板，其特征在于，所述孔洞的周面與所述第一板面垂直。

5.根據(jù)權(quán)利要求1至3任一項(xiàng)所述的擋板，其特征在于，從第二板面至第一板面，所述孔洞的周面的橫截面沿所述第一板面的法線方向逐漸縮小。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的擋板，其特征在于，所述孔洞的周面與所述第一板面的夾角呈30度。

7.根據(jù)權(quán)利要求5所述的擋板，其特征在于，從第二板面至第一板面，所述擋板的外周面的橫截面沿所述第一板面的法線方向逐漸增大。

8.根據(jù)權(quán)利要求6或7所述的擋板，其特征在于，所述擋板的外周面與所述第一板面的夾角呈30度。

9.一種真空干燥機(jī)，包括基臺(tái)、氣室和排氣管道，還包括權(quán)利要求1至5中任一項(xiàng)所述的擋板，其中，待干燥的陣列基板設(shè)置在所述基臺(tái)上，陣列基板的待干燥面朝向所述排氣管道，所述擋板設(shè)置在陣列基板的正上方，且所述擋板的第二板面與陣列基板的待干燥面相對(duì)設(shè)置，所述擋板的第一板面朝向所述排氣管道。