[發明專利]用于電子級多晶硅尾氣純化的多層吸附塔在審
| 申請號： | 201611233841.2 | 申請日： | 2016-12-28 |
| 公開（公告）號： | CN106512644A | 公開（公告）日： | 2017-03-22 |
| 發明（設計）人： | 吳鋒;徐玲鋒;梁帥軍 | 申請（專利權）人： | 江蘇鑫華半導體材料科技有限公司 |
| 主分類號： | B01D53/04 | 分類號： | B01D53/04;C01B3/56 |
| 代理公司： | 南京蘇高專利商標事務所(普通合伙)32204 | 代理人： | 肖明芳 |
| 地址： | 221004 江蘇省*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 用于 電子 多晶 尾氣 純化 多層 吸附 | ||
【說明書】：
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