[發(fā)明專利]一種用于拋光等離子硅聚焦環(huán)臺階的裝置及方法

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 201611216510.8
• 申請日: 2016-12-23
• 公開（公告）號: CN108237469A
• 公開（公告）日: 2018-07-03
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 夏青;庫黎明;朱秦發(fā);高立飛;田強;王思元;張雷;楊衛(wèi)國;閆志瑞;李磊
• 申請（專利權(quán)）人: 有研半導體材料有限公司
• 主分類號: B24B39/06
• 分類號: B24B39/06;B24B1/00;B24B55/00;B24B47/12;B24B57/00
• 代理公司: 北京北新智誠知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11100
• 代理人: 劉秀青;熊國裕

1.一種用于拋光等離子硅聚焦環(huán)臺階的裝置，其特征在于，該裝置包括主體槽、轉(zhuǎn)動裝置、緊固裝置、送液裝置、懸臂和拋光布，其中，緊固裝置包括一卡盤，該卡盤上設(shè)有螺紋孔，通過螺栓固定待拋光的硅聚焦環(huán)；所述緊固裝置安裝在轉(zhuǎn)動裝置上，送液裝置用于向待拋光的硅聚焦環(huán)上噴淋拋光液；拋光布貼在懸臂的下端，懸臂套在懸臂桿上通過繩子與重錘相連，懸臂可在懸臂桿上沿卡盤徑向移動，懸臂桿套在懸臂架上，懸臂桿可在懸臂架上上、下移動。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的裝置，其特征在于，所述卡盤的材質(zhì)為金屬材料或硬塑料，所述卡盤的上表面貼有非硬質(zhì)材料。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的裝置，其特征在于，所述螺栓的材質(zhì)為塑料或樹脂材料。

4.一種采用權(quán)利要求1所述的裝置拋光等離子硅聚焦環(huán)臺階的方法，其特征在于，該方法包括以下步驟：

(1)把卡盤安裝在轉(zhuǎn)動裝置上，用螺栓將硅聚焦環(huán)固定在卡盤上；

(2)通過送液裝置將拋光液不斷噴淋到硅環(huán)臺階上，將包覆拋光布的懸臂壓在硅環(huán)臺階上；

(3)通過調(diào)整卡盤的轉(zhuǎn)速和拋光時間，來達到所需硅環(huán)臺階粗糙度；

(4)對硅環(huán)進行清洗。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的方法，其特征在于，在所述步驟(2)中，拋光液為堿性二氧化硅拋光液。

6.根據(jù)權(quán)利要求4所述的方法，其特征在于，在所述步驟(2)中，在所述步驟(2)中，所述拋光布貼在懸臂下端橡膠制軟承載體上，其大小為長1-10cm、寬0.5-5cm。

7.根據(jù)權(quán)利要求4所述的方法，其特征在于，在所述步驟(2)中，在所述步驟(3)中，卡盤轉(zhuǎn)速為100-2000轉(zhuǎn)/分鐘。

8.根據(jù)權(quán)利要求4所述的方法，其特征在于，在所述步驟(2)中，在所述步驟(4)中，使用水或清洗液對硅環(huán)進行清洗，去除表面的殘留拋光液。