[發(fā)明專(zhuān)利]一種金剛石-石墨烯異質(zhì)結(jié)構(gòu)復(fù)合材料的制備方法在審
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201611206231.3 | 申請(qǐng)日: | 2016-12-23 |
| 公開(kāi)(公告)號(hào): | CN108238597A | 公開(kāi)(公告)日: | 2018-07-03 |
| 發(fā)明(設(shè)計(jì))人: | 戴丹;林正得;江南;劉穎 | 申請(qǐng)(專(zhuān)利權(quán))人: | 中國(guó)科學(xué)院寧波材料技術(shù)與工程研究所 |
| 主分類(lèi)號(hào): | C01B32/184 | 分類(lèi)號(hào): | C01B32/184 |
| 代理公司: | 上海一平知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 31266 | 代理人: | 馬思敏;崔佳佳 |
| 地址: | 315201 浙江*** | 國(guó)省代碼: | 浙江;33 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 金剛石 石墨烯 異質(zhì)結(jié)構(gòu) 制備 金屬介質(zhì)膜 復(fù)合材料 管式爐 放入 刻蝕 金剛石表面 快速升溫 退火處理 原位生長(zhǎng) 氫氣 后冷卻 結(jié)合力 刻蝕液 取出 | ||
1.一種金剛石-石墨烯異質(zhì)結(jié)構(gòu)復(fù)合材料的制備方法,其特征在于,所述方法包括步驟:
(a)將鍍有金屬介質(zhì)膜的金剛石放入管式爐內(nèi),在氫氣通入下,快速升溫,退火處理后冷卻(優(yōu)選冷卻至室溫),得到金剛石-金屬介質(zhì)膜-石墨烯復(fù)合材料;
(b)對(duì)所述的金剛石-金屬介質(zhì)膜-石墨烯復(fù)合材料進(jìn)行刻蝕,得到所述的金剛石-石墨烯異質(zhì)結(jié)構(gòu)復(fù)合材料。
2.如權(quán)利要求1所述的制備方法,其特征在于,所述步驟(a)中通入氫氣的濃度為1-50sccm。
3.如權(quán)利要求1所述的制備方法,其特征在于,所述步驟(a)中反應(yīng)過(guò)程中的壓強(qiáng)為0.01-0.50Torr。
4.如權(quán)利要求1所述的制備方法,其特征在于,所述步驟(a)中的金屬介質(zhì)膜的厚度為1-1000nm。
5.如權(quán)利要求1所述的制備方法,其特征在于,所述步驟(a)中的金剛石選自下組:?jiǎn)尉Ы饎偸⒍嗑Ы饎偸?、聚晶金剛石,或其組合。
6.如權(quán)利要求1所述的制備方法,其特征在于,所述步驟(a)中的金屬介質(zhì)膜選自下組:銅膜、鎳膜、金膜、鉑膜、鐵膜、釕膜,或其復(fù)合膜。
7.如權(quán)利要求1所述的制備方法,其特征在于,所述步驟(a)升溫后的溫度為600-1500℃。
8.如權(quán)利要求1所述的制備方法,其特征在于,所述步驟(b)中的刻蝕是用刻蝕液進(jìn)行刻蝕,且所述刻蝕液為CuSO4和HCl的混和水溶液,其中CuSO4的量為0.1-1mol/L,HCl的量為10-20mol/L。
9.如權(quán)利要求1所述的制備方法,其特征在于,所述步驟(a)中的鍍有金屬介質(zhì)膜的金剛石制備方法包括:
(i)將金剛石放入清洗液中,加熱浸泡后取出,清洗并干燥;
(ii)將所述步驟(a)干燥后的金剛石表面鍍上金屬介質(zhì)膜。
10.如權(quán)利要求9所述的制備方法,其特征在于,所述步驟(ii)中鍍膜的方式選自下組:電子束蒸發(fā)、熱蒸鍍、磁控濺射,或其組合方式。
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