[發明專利]一種新型微機械陀螺儀正交誤差補償結構

在審

• 申請號: 201611196564.2
• 申請日: 2016-12-22
• 公開（公告）號: CN106595712A
• 公開（公告）日: 2017-04-26
• 發明（設計）人: 王志;周駿;王龍峰;山永啟;雷龍海
• 申請（專利權）人: 四川納杰微電子技術有限公司
• 主分類號: G01C25/00
• 分類號: G01C25/00
• 代理公司: 成都行之專利代理事務所(普通合伙)51220
• 代理人: 郭受剛

1.一種新型微機械陀螺儀正交誤差補償結構，其特征在于，補償結構位于質量塊(7)內部空腔中，所述補償結構包括：

動齒(2)、動齒(4)、動齒(5)、動齒(7)、定齒(3)、定齒(6)、連接件(10)；動齒(2)位于動齒(4)上方，動齒(2)的一端和動齒(4)的一端均與質量塊(8)的左側內壁連接，定齒(3)一端與連接件(10)連接，定齒(3)另一端延伸至動齒(2)與動齒(4)之間；動齒(5)位于動齒(7)上方，動齒(5)的一端和動齒(7)的一端均與質量塊(8)的右側內壁連接，定齒(6)一端與連接件(10)連接，定齒(6)另一端延伸至動齒(5)與動齒(7)之間；其中，動齒(2)、動齒(4)、動齒(5)、動齒(7)與質量塊(8)具有相同電位，定齒(3)、定齒(6)與連接件(10)具有相同電位，動齒(2)、動齒(4)、動齒(5)、動齒(7)、質量塊(8)與定齒(3)、定齒(6)、連接件(10)之間具有一電壓V_DC。

2.根據權利要求1所述的新型微機械陀螺儀正交誤差補償結構，其特征在于，補償結構為導體，且連接件(10)固定在襯底上。

3.根據權利要求1所述的新型微機械陀螺儀正交誤差補償結構，其特征在于，動齒(2)與定齒(3)之間的間距、動齒(4)和定齒(3)之間的間距、動齒(5)與定齒(6)之間的間距、動齒(7)和定齒(6)之間的間距均相等。

4.根據權利要求1所述的新型微機械陀螺儀正交誤差補償結構，其特征在于，定齒(3)、定齒(6)、動齒(2)、動齒(7)的厚度相同，動齒(4)、動齒(5)的厚度相同，定齒(3)的厚度大于動齒(4)的厚度。

5.根據權利要求1所述的新型微機械陀螺儀正交誤差補償結構，其特征在于，質量塊受到的靜電力為：

$F=\frac{\mathrm{\ϵ}(t_1-t_2){\mathrm{\ΔxV}}_{DC}^2}{d_0^2}$

其中，ε為空氣介電常數，t₁為動齒(2)的厚度，t₂為動齒(4)的厚度，x₀為梳齒靜止時定齒與動齒的重疊長度，Δx為質量塊的驅動位移，d₀為梳齒間間隙。