[發(fā)明專利]自動(dòng)調(diào)整紫外激光光束位置的方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201611195388.0
• 申請(qǐng)日: 2016-12-22
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN106707403B
• 公開(kāi)（公告）日: 2019-04-16
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 沈華;舒劍;朱日宏;湯亞洲;葛詩(shī)雨;張秋庭
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 南京理工大學(xué)
• 主分類號(hào): G02B6/02
• 分類號(hào): G02B6/02;G03F7/20
• 代理公司: 南京理工大學(xué)專利中心 32203
• 代理人: 朱沉雁

1.一種自動(dòng)調(diào)整紫外激光光束位置的方法，其特征在于，方法步驟如下：

第一步、搭建自動(dòng)調(diào)整紫外激光光束位置的裝置：

所述自動(dòng)調(diào)整紫外激光光束位置的裝置包括準(zhǔn)分子紫外激光器（1）、第一反射鏡（2）、電控平移臺(tái)（3）、第二反射鏡（5）、柱面鏡（6）、相位掩膜板（7）、光纖（8）、壓電陶瓷（4）、光功率計(jì)（9）和計(jì)算機(jī)（10），共光軸依次設(shè)置第二反射鏡（5）、柱面鏡（6）和相位掩膜板（7），第二反射鏡（5）通過(guò)固定座固定在電控平移臺(tái)（3）上，固定座上設(shè)有壓電陶瓷（4），第二反射鏡（5）位于第一反射鏡（2）的反射光路上，準(zhǔn)分子紫外激光器（1）位于第一反射鏡（2）的入射光路上，光纖（8）緊貼相位掩膜板（7）且位于入射光線的相反方向，光功率計(jì)（9）對(duì)準(zhǔn)光纖（8）的一端，采集光纖（8）的透射光功率數(shù)據(jù)，光功率計(jì)（9）和壓電陶瓷（4）分別與計(jì)算機(jī)（10）連接，轉(zhuǎn)入第二步；

第二步、打開(kāi)準(zhǔn)分子紫外激光器（1），準(zhǔn)分子紫外激光器（1）發(fā)出紫外光束，經(jīng)第一反射鏡（2）反射至第二反射鏡（5），經(jīng)第二反射鏡（5）反射至柱面鏡（6），經(jīng)柱面鏡（6）聚焦至相位掩膜板（7），并入射至光纖（8），使得紫外光束在光纖（8）發(fā)生色散，色散產(chǎn)生的熒光經(jīng)光纖（8）傳輸，通過(guò)光功率計(jì)（9）接收光纖（8）上的輸出光功率，同時(shí)將數(shù)據(jù)實(shí)時(shí)傳輸給計(jì)算機(jī)（10），轉(zhuǎn)入第三步；

第三步，判斷光功率計(jì)（9）所接收功率是否出現(xiàn)一個(gè)最大值，若不是，計(jì)算機(jī)（10）反饋一個(gè)信號(hào)給壓電陶瓷（4），轉(zhuǎn)入第四步；

第四步，壓電陶瓷（4）接收信號(hào)并調(diào)整第二反射鏡（5），使紫外光束準(zhǔn)確的照射在光纖（8）上，使得在光功率計(jì)（9）上獲得的功率值最大。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的自動(dòng)調(diào)整紫外激光光束位置的方法，其特征在于：第一步中，所述第一反射鏡（2）和第二反射鏡（5）均采用鍍紫外增反膜的反射鏡。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的自動(dòng)調(diào)整紫外激光光束位置的方法，其特征在于：第一步中，所述光纖（8）水平放置。