[發明專利]掩膜板自動清洗系統及方法

在審

• 申請號: 201611193376.4
• 申請日: 2016-12-21
• 公開（公告）號: CN106773528A
• 公開（公告）日: 2017-05-31
• 發明（設計）人: 祖偉
• 申請（專利權）人: 武漢華星光電技術有限公司
• 主分類號: G03F1/82
• 分類號: G03F1/82;G03F7/20
• 代理公司: 廣州三環專利代理有限公司44202
• 代理人: 郝傳鑫,熊永強

1.一種掩膜板自動清洗系統，其特征在于，包括：

曝光機控制端，與對應的曝光機相連接，用于控制所述曝光機的曝光制程、以及監控曝光機內每一掩膜板的使用次數；

清洗裝置，用以清洗所述掩膜板；

主控裝置，連接至所述曝光機控制端與所述清洗裝置，所述主控裝置根據每一所述曝光機中即將使用的掩膜板信息控制所述清洗裝置提前清洗即將使用的掩膜板，并在監測到所述曝光機中的掩膜板的使用次數達到一預設次數時，自動發出掩膜板清洗提醒，以提醒現場操作人員及時進行清洗作業。

2.如權利要求1所述的掩膜板自動清洗系統，其特征在于，所述曝光機控制端，還用于將與所述曝光機控制端連接的曝光機中即將使用的掩膜板信息發送至所述主控裝置；

所述主控裝置，還用于根據所述曝光機控制端發送的掩膜板信息控制所述清洗裝置提前清洗所述即將使用的掩膜板。

3.如權利要求1所述的掩膜板自動清洗系統，其特征在于，所述掩膜板自動清洗系統還包括中轉器，所述曝光機控制端通過所述中轉器與所述主控裝置連接，用以建立所述主控裝置與所述曝光機控制端之間的通信連接。

4.如權利要求3所述的掩膜板自動清洗系統，其特征在于，所述中轉器為一集線器。

5.如權利要求1-4任一項所述的掩膜板自動清洗系統，其特征在于，所述掩膜板自動清洗系統還包括存儲柜和連接至所述主控裝置的計時器；

所述存儲柜，用于存儲掩膜板；

所述計時器設置于所述存儲柜中，用以統計所述存儲柜中每一掩膜板的存放時長。

6.如權利要求5所述的掩膜板自動清洗系統，其特征在于，所述存儲柜為所述清洗裝置附帶的存儲柜，或者所述存儲柜與所述清洗裝置分別單獨設置。

7.如權利要求6所述的掩膜板自動清洗系統，其特征在于，所述清洗裝置包括一分別連接至所述主控裝置以及所述計時器的清洗控制端；

所述主控裝置，還用于根據所述計時器的計時值，判斷存儲柜中是否有掩膜板需要清洗，并在所述存儲柜中有掩膜板需要清洗時，通過所述清洗控制端向清洗裝置發送清洗指令，所述清洗指令包括待清洗掩膜板的掩膜板信息；

所述清洗裝置，還用于根據所述指令對相應的掩膜板進行清洗作業。

8.一種掩膜板自動清洗方法，其特征在于，所述掩膜板自動清洗方法應用于如權利要求1-7任一項所述的掩膜板自動清洗系統，所述掩膜板自動清洗方法包括以下步驟：

曝光機控制端實時監控曝光機中的掩膜板的使用次數；

當曝光機中的掩膜板的使用次數達到預設次數時，主控裝置自動發出掩膜板清洗提醒，以提醒現場操作人員及時進行清洗作業；以及

所述主控裝置還根據接收到的每一所述曝光機中即將使用的掩膜板信息，控制所述清洗裝置提前清洗所述即將使用的掩膜板。

9.如權利要求8所述的掩膜板自動清洗方法，其特征在于，還包括以下步驟；

計時器監控存儲柜中各掩膜板的存儲時長；

當存儲時長超過預設時長時，清洗控制端控制所述清洗裝置及時清洗所述存儲超時的掩膜板。

10.如權利要求8所述的掩膜板自動清洗方法，其特征在于，所述主控裝置還根據接收到的每一所述曝光機中即將使用的掩膜板信息，控制所述清洗裝置提前清洗所述即將使用的掩膜板這一步驟之前還包括以下步驟：

所述曝光機控制端將與所述曝光機控制端連接的曝光機中即將使用的掩膜板信息發送至所述主控裝置。