[發明專利]鎳靶材制作方法

有效

• 申請號: 201611186151.6
• 申請日: 2016-12-20
• 公開（公告）號: CN108203806B
• 公開（公告）日: 2020-04-28
• 發明（設計）人: 姚力軍;潘杰;相原俊夫;王學澤;曹歡歡
• 申請（專利權）人: 寧波江豐電子材料股份有限公司
• 主分類號: C23C14/34
• 分類號: C23C14/34;C22F1/10;B24B1/00
• 代理公司: 北京集佳知識產權代理有限公司 11227
• 代理人: 高靜;吳敏

1.一種鎳靶材的制作方法，其特征在于，包括：

形成鎳板；

對所述鎳板進行拋光；

對拋光后的鎳板進行離心研磨，制作成鎳靶材；所述離心研磨的步驟在離心研磨機滾筒內執行；所述離心研磨的步驟包括在所述離心研磨機滾筒中加入30ml～50ml的研磨劑；所述離心研磨的轉速為180轉/分鐘～200轉/分鐘，所述離心研磨時間為10分鐘～20分鐘；

對所述鎳板進行拋光之后，離心研磨之前，所述制作方法還包括：將所述鎳板制作成鎳方片；將所述鎳方片進行酸洗；所述離心研磨的步驟中，將酸洗之后的鎳方片進行離心研磨；

所述酸洗的步驟包括：

將所述鎳方片放入航空煤油中，進行第一清洗；

將第一清洗后的所述鎳方片移至異丙醇溶液中，進行第二清洗；

將第二清洗后的所述鎳方片移至酸液中，進行第三清洗；所述酸液為硝酸溶液，其中硝酸質量比為15％～20％；酸洗時間為3分鐘～5分鐘；

將第三清洗后的所述鎳方片置于純水中進行純水清洗；

將純水清洗后的所述鎳方片進行干燥處理。

2.如權利要求1所述的制作方法，其特征在于，所述離心研磨的步驟在離心研磨機滾筒內執行；所述離心研磨的步驟包括：將所述鎳方片置于離心研磨機滾筒內，所述滾筒加料小于或等于所述滾筒深度的三分之一。

3.如權利要求1所述的制作方法，其特征在于，進行所述離心研磨之后，對所述鎳方片進行干燥。

4.如權利要求3所述的制作方法，其特征在于，所述干燥的步驟包括：將離心研磨后的所述鎳方片過篩濾干，將過篩濾干后的所述鎳方片采用氣槍吹干。

5.如權利要求1所述的制作方法，其特征在于，在進行所述酸洗的步驟中，將所述鎳方片放置在滾筒中進行所述第一清洗、所述第二清洗及所述第三清洗；進行所述第一清洗及第二清洗的步驟中，使所述滾筒保持靜止；進行所述第三清洗的步驟中，使所述滾筒保持滾動。

6.如權利要求1所述的制作方法，其特征在于，在進行所述第一清洗、所述第二清洗及所述純水清洗的步驟中，對所述鎳方片進行超聲波振蕩。

7.如權利要求6所述的制作方法，其特征在于，在所述第一清洗的步驟中，進行超聲波振蕩的時間為10分鐘～20分鐘；在所述第二清洗的步驟中，進行超聲波振蕩的時間為5分鐘～15分鐘；在所述純水清洗的步驟中，進行超聲波振蕩的時間為5分鐘～10分鐘。

8.如權利要求1所述的制作方法，其特征在于，形成所述鎳板的步驟包括：提供鑄態鎳；

對所述鑄態鎳進行鍛打；

對鍛打后的所述鑄態鎳進行銑加工，制作成鎳錠；

對所述鎳錠進行壓延，制作成鎳板。

9.如權利要求8所述的制作方法，其特征在于，所述鍛打的步驟包括：

對所述鑄態鎳進行鍛打預熱；

對預熱后的鑄態鎳進行鍛打成型；

將鍛打成型后的鑄態鎳進行冷卻處理。

10.如權利要求9所述的制作方法，其特征在于，所述鍛打預熱的預定溫度范圍在850攝氏度～950攝氏度。

11.如權利要求9所述的制作方法，其特征在于，所述鍛打變形量在30％～60％之間。

12.如權利要求9所述的制作方法，其特征在于，所述冷卻處理的步驟包括將所述鑄態鎳鍛打成型后2分鐘之內放置于常溫水中冷卻。

13.如權利要求8所述的制作方法，其特征在于，所述壓延的步驟包括：

對所述鎳錠進行粗軋，制作成粗軋鎳板；

將粗軋鎳板進行退火熱處理并進行冷卻；

將所述粗軋鎳板進行分切；

將分切后的粗軋鋁板進行精軋，制作成所述鎳板。