[發明專利]真空?半導體混合型光電探測器

在審

• 申請號: 201611178930.1
• 申請日: 2016-12-19
• 公開（公告）號: CN106876514A
• 公開（公告）日: 2017-06-20
• 發明（設計）人: 徐鵬霄;趙文錦;王霄;唐家業;周劍明;唐光華;戴麗英;姚勇;汪述猛
• 申請（專利權）人: 中國電子科技集團公司第五十五研究所
• 主分類號: H01L31/09
• 分類號: H01L31/09;H01L31/0232
• 代理公司: 南京蘇高專利商標事務所(普通合伙)32204
• 代理人: 柏尚春

1.一種真空-半導體混合型光電探測器，其特征在于：包括輸入光窗(1)、光電陰極(2)、陶瓷環(3)、聚焦裝置、半導體探測器(9)、陽極底座(10)和信號輸出裝置；其中，光電陰極(2)固定在輸入光窗(1)上，半導體探測器(9)固定在信號輸出裝置上，信號輸出裝置固定在陽極底座(10)上，光電陰極(2)和半導體探測器(9)的中間設置有聚焦裝置，輸入光窗(1)與聚焦裝置之間通過陶瓷環(3)控制距離并實現絕緣，聚焦裝置與陽極底座(10)之間通過陶瓷環(3)控制距離并實現絕緣。

2.根據權利要求1所述的真空-半導體混合型光電探測器，其特征在于：所述聚焦裝置包括聚焦電極一(4)、聚焦電極二(5)、聚焦電極三(7)和聚焦極帽(6)；聚焦電極一(4)、聚焦電極二(5)和聚焦電極三(7)的內徑依次減少，工作時施加的電壓依次增大，三個聚焦電極之間通過陶瓷環(3)控制距離并實現絕緣，聚焦極帽(6)固定在聚焦電極三(7)上。

3.根據權利要求2所述的真空-半導體混合型光電探測器，其特征在于：聚焦電極一(4)、聚焦電極二(5)和聚焦電極三(7)采用圓環形結構。

4.根據權利要求2所述的真空-半導體混合型光電探測器，其特征在于：聚焦極帽(6)的直徑為光電陰極(2)的直徑的1/7～1/4。

5.根據權利要求1所述的真空-半導體混合型光電探測器，其特征在于：所述信號輸出裝置包括金絲(8)、引針(11)和引針基座(12)；半導體探測器(9)通過金絲(8)連接到引針(11)，半導體探測器(9)接受的信號通過引針(11)和引針基座(12)實現信號輸出。

6.根據權利要求1所述的真空-半導體混合型光電探測器，其特征在于：半導體探測器(9)的尺寸小于光電陰極(2)。