[發明專利]一種高品質因子回音壁模微球腔的制備方法有效
| 申請號： | 201611174648.6 | 申請日： | 2016-12-19 |
| 公開（公告）號： | CN106772721B | 公開（公告）日： | 2019-02-01 |
| 發明（設計）人： | 車凱軍;湯德宇;郭長磊;許惠英;蔡志平;任昌燕;張盼 | 申請（專利權）人： | 廈門大學 |
| 主分類號： | G02B5/00 | 分類號： | G02B5/00 |
| 代理公司： | 廈門南強之路專利事務所(普通合伙) 35200 | 代理人： | 馬應森;戴深峻 |
| 地址： | 361005 *** | 國省代碼： | 福建;35 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 品質 因子 回音壁 模微球腔 制備 方法 | ||
1.一種因子回音壁模微球腔的制備方法，其特征在于包括以下步驟：
1)將毫米級石英玻璃棒固定在旋轉電機上；
2)將毫米級石英玻璃棒頂端用CO2激光器剝蝕至所需微球腔大小的尺度，得微米級石英玻璃棒；
3)用CO2激光器燒蝕掉微米級石英玻璃棒頂端多余的長度，再加熱微米級石英玻璃棒，得原始回音壁模微腔；
4)提高CO2激光器的輸出功率，短時間灼燒原始回音壁模微腔，受熱的微腔在表面張力的作用下自然形成球狀，得到因子回音壁模微球腔。
2.如權利要求1一種因子回音壁模微球腔的制備方法，其特征在于在步驟1)中，所述毫米級石英玻璃棒采用超純、羥基含量＜5ppm的石英玻璃棒。
3.如權利要求1一種因子回音壁模微球腔的制備方法，其特征在于在步驟1)中，所述旋轉電機的轉速為1000～60000r/min。
4.如權利要求1一種因子回音壁模微球腔的制備方法，其特征在于在步驟2)中，所述將毫米級石英玻璃棒頂端用CO2激光器剝蝕至所需微球腔大小的尺度是在二維精密步進電機幫助下，將毫米級石英玻璃棒頂端用CO2激光器剝蝕至所需微球腔大小的尺度，首先確定需要回音壁模微球腔的尺寸，然后根據所需尺寸將毫米級玻璃棒剝蝕至對應尺度；所述CO2激光器的輸出功率為7.5～8.75W。
5.如權利要求1一種因子回音壁模微球腔的制備方法，其特征在于在步驟3)中，所述燒蝕掉微米級石英玻璃棒頂端多余的長度是利用高溫下玻璃材質的氣化現象。
6.如權利要求1一種因子回音壁模微球腔的制備方法，其特征在于在步驟3)中，燒蝕過程中CO2激光器的輸出功率為3.75W。
7.如權利要求1一種因子回音壁模微球腔的制備方法，其特征在于在步驟3)中，所述再加熱微米級石英玻璃棒的過程中CO2激光器的輸出功率為1.25～2W。
8.如權利要求1一種因子回音壁模微球腔的制備方法，其特征在于在步驟4)中，所述提高CO2激光器的輸出功率是提高至2.5～3W。
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