[發明專利]一種模擬多孔介質內部流動的微槽道模型

在審

• 申請號: 201611170135.8
• 申請日: 2016-12-16
• 公開（公告）號: CN107036951A
• 公開（公告）日: 2017-08-11
• 發明（設計）人: 郝鵬飛;李佳琦;謝斌;黃波;王榮;高葉
• 申請（專利權）人: 清華大學
• 主分類號: G01N15/08
• 分類號: G01N15/08
• 代理公司: 北京鴻元知識產權代理有限公司11327
• 代理人: 邸更巖

1.一種模擬多孔介質內部流動的微槽道模型，其特征在于：該模型包括硅片基底(9)，以及刻蝕在硅片基底上的入口(1)、入口腔(2)、入口段(3)、微槽道(4)、微柱陣列(5)、測量段(6)、出口腔(7)和出口(8)；微柱陣列(5)設置在微槽道(4)；所述的微槽道(4)的上游通過入口段(3)與入口腔(2)相連，微槽道(4)的下游通過測量段(6)與出口腔(7)相連；所述的微柱陣列(5)是由多個微柱交錯排列而成，微柱的高度與微槽道的深度相同；在硅片基底的頂部設有玻璃蓋板(10)，該玻璃蓋板與微槽道和硅片基底實現密封連接。

2.根據權利要求1所述的一種模擬多孔介質內部流動的微槽道模型，其特征在于：每個微柱的截面為正方形，微柱的邊長范圍為10-50微米，微柱間距范圍為2-10微米。

3.根據權利要求1或2所述的一種模擬多孔介質內部流動的微槽道模型，其特征在于：所述的槽道深度為20-80微米。

4.根據權利要求3所述的一種模擬多孔介質內部流動的微槽道模型，其特征在于：所述入口段(3)和測量段(3)的寬度相同，為微槽道寬度的2-3倍，其深度與微槽道的深度相同。