[發(fā)明專利]一種基于納米顆粒的光伏電池表面陷光結(jié)構(gòu)的制造工藝

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 201611168608.0
• 申請日: 2016-12-16
• 公開（公告）號: CN106601836A
• 公開（公告）日: 2017-04-26
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 王珺;郭群超;朱紅英;丁云飛;朱晨烜
• 申請（專利權(quán)）人: 上海電機學(xué)院
• 主分類號: H01L31/0236
• 分類號: H01L31/0236;B82Y30/00
• 代理公司: 上海伯瑞杰知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司31227
• 代理人: 俞晨波

1.一種基于納米顆粒的光伏電池表面陷光結(jié)構(gòu)的制造工藝，其特征在于，包括如下步驟：

1)采用二氧化硅制作自組裝掩模版，并將正酸乙酯和乙醇溶液混合，在自組裝掩模版制作出二氧化硅納米顆粒自組裝掩模版；

2)二氧化硅納米顆粒自組裝掩模版，對已經(jīng)擴散好PN的硅片進行刻蝕，再在硅片的表面進行陷光結(jié)構(gòu)的刻蝕，以制作硅微米柱陣列。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基于納米顆粒的光伏電池表面陷光結(jié)構(gòu)的制造工藝，其特征在于，所述二氧化硅納米顆的尺寸與正酸乙酯和乙醇溶液的配比、反應(yīng)溫度和磁力攪拌器的轉(zhuǎn)速相關(guān)。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基于納米顆粒的光伏電池表面陷光結(jié)構(gòu)的制造工藝，其特征在于，所述陷光結(jié)構(gòu)的形態(tài)與刻蝕的時間相關(guān)。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基于納米顆粒的光伏電池表面陷光結(jié)構(gòu)的制造工藝，其特征在于，所述刻蝕完成后，需通過HF與HNO₃的混合酸溶液對硅微米柱陣列進行修飾，將其表面的缺陷層腐蝕掉，并根據(jù)陷光結(jié)構(gòu)設(shè)計需要延長或縮短混合酸溶液對微米柱陣列的修飾時間。